中古 SEMITOOL Paragon #293636054 を販売中
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SEMITOOL Paragonは、半導体業界のウェーハ加工用に特別に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、特許取得済みのフォトリソグラフィープロセスを中心に構築されており、基板を光感受性ポリマー（フォトレジスト）でパターン化し、エッチングやその他の製造プロセスを使用して所望のデバイス構造を作成することができます。パラゴンフォトレジストユニットは、4つの主要コンポーネントで構成されています。フォトリソグラフィープロセッサ、レジストスプレーヤー、デベロッパーバス、スピンドライバスなどがあります。フォトリソグラフィープロセッサは、マシンの最も重要なコンポーネントであり、それは基板上のフォトレジストを露出するために投影されたパターン化された光を利用します。レジストスプレーヤーは、パターン化された光にさらされる前に、基板にフォトレジストの均一な層を適用するために使用されます。その後、開発者バスはフォトレジストをさらに処理するために使用されます。これは、エッチング処理を容易にするために行われます。最後に、スピンドライバスを使用して、基板から残りのフォトレジストを除去し、基板が完全にきれいになるようにします。SEMITOOLパラゴンフォトレジストツールは、多くの利点を提供しています。維持し、作動することは容易、小さい足跡があり、速く、信頼でき、反復可能です。また、多種多様なフォトレジストや基板の加工が可能なため、高精度・高精度を必要とする用途に最適です。全体として、パラゴンのフォトレジストモデルは、半導体業界にとって非常に貴重なツールです。高性能と信頼性を兼ね備えているため、小型電子機器の精密加工に適しています。
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