中古 SEMITOOL Paragon #293592805 を販売中

セミトールパラゴン（SEMITOOL Paragon）は、半導体において極めて微細な機能を実現するために、株式会社セミトールが開発した「フォトレジスト」装置です。このシステムは、高精度なマスクアライナーを使用しており、優れた精度で半導体基板にパターンをイメージングすることができます。プロセスは、基板に転送する必要があるパターンを含むフォトマスクから始まります。その後、基板の上に特殊なフォトマスクを置き、マスクを通して輝く光を使用して希望のパターンを作成します。パラゴンフォトレジストユニットは、Photo AlignerとDeveloperの2つの主要な機器で構成されています。フォトアライナーは、アライメントステージ、トップホルダー、イルミネーターで構成されています。アライメントステージは、フォトマスクが基板上に配置される精度を制御し、トップホルダーはフォトマスクが移動できる滑らかな表面を提供します。この照明器は、可視光、UV、 IRなどのフォトレジスト対応光源を利用して、非常に細かい特徴を作り出すことができます。開発者は、フォトレジスト材料の除去と固定のために設計されています。フォトレジスト材料が望ましいパターンにさらされた後、それは表面から洗浄されなければならず、フォトレジストの新しい層を適用する必要があります。これを達成するために、開発者は、ケミカルバスを使用してフォトレジストを取り外して修正するウェットベンチを使用しています。SEMITOOLパラゴンフォトレジストマシンは、小さなサイズと機能サイズの半導体パターンを正確かつ再現可能に作成できるように設計されています。このツールは、高スループットとフィーチャーサイズ制御で45nmまでの精度を提供します。アセットのマスクアライナーにより、ウェーハ上のフォトマスクを極めて正確にアライメントすることができ、さらに精度が向上します。さらに、このモデルはさまざまなフォトレジストを使用することができ、望ましい機能サイズを確実に達成できます。