中古 SEMITOOL Paragon LT-210 #9115016 を販売中

SEMITOOL Paragon LT-210は、大量のウェーハ処理用に設計された最高級のフォトレジスト加工装置です。このシステムは、スピンコーティングからレジスト除去まで、あらゆるウエハプロセスの優れた均一性と制御を提供するように設計されています。パラゴンLT-210ユニットには、すべてのプロセスゾーンに個別のガス制御を提供するマルチゾーンガス供給機が含まれており、温度、圧力、ガスの流れを迅速かつ正確に制御できます。内蔵のUV LED照明ツールにより、プロセスチャンバー全体でのUV照明の均一な分布を可能にし、フォトリソグラフィなどのプロセスでの均一性と再現性を最大限に高めます。このアセットには、高度な6軸ロボットアームと歯科ロボットが統合されており、重要なプロセスステップを正確に実行できます。歯科ロボットは、リソグラフィーマスクとレジストの正確で正確なアライメントを可能にする革新的な機能です。さらに、ロボットアームは、重要なプロセスステップを正確かつ再現可能に実行します。SEMITOOL Paragon LT-210は、信頼性の高いウェーハトランスポートモデルに基づいて構築されており、機器の最大の稼働時間と信頼性を可能にします。また、SEMITOOL特許取得済みのShuttleFloターボ真空ポンピングユニットを搭載しており、プロセス室からの蒸気の迅速な排出を可能にし、迅速なウェーハのターンオーバーを実現します。さらに、Paragon LT-210マシンには統合されたデータロギングおよび分析ツールが含まれており、プロセスパラメータの安全かつ効率的なロギングとウェハプロセス結果の詳細な分析を可能にします。これにより、ウェーハ表面の抵抗率やその他の重要なプロセスパラメータを正確に制御し、優れたウェーハ歩留まりをもたらし、プロセス制御を改善できます。全体として、SEMITOOL Paragon LT-210は、大量のウェーハプロセスアプリケーション向けに最大限の制御、信頼性、およびプロセス精度を実現するために設計された、丸みのあるフォトレジスト処理資産です。このモデルは、高信頼性のハードウェアコンポーネントに基づいて構築されており、詳細なプロセス分析のための統合解析パッケージを備えています。この装置は、最高の歩留まりと再現性に最適化されているため、業界のウェーハ処理ニーズに最適です。