中古 SEMITOOL / OEM SAT 2081D2PCCU #9400646 を販売中

SEMITOOL/OEM SAT 2081D2PCCUは、さまざまな半導体製造プロセスで使用するために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、高精度かつ高真空の薄膜蒸着源、反応チューブ、高真空プロセスチャンバーで構成されています。薄膜蒸着源は、窒化チタンなどの様々な金属や絶縁体をウェーハ表面に直接堆積させるように設計された6軸、高速パルスDC電子銃です。また、二酸化ケイ素などの他の材料を基板に堆積させることも可能です。反応チューブは、高い流量でフォトレジスト溶液を循環させる回転式装置です。このプロセスは、基板の特定の部分をフォトレジストマスクに変換するために使用されます。プロセスチャンバーは、薄膜蒸着源と反応チューブを収容する、ステンレス製の大型真空チャンバーです。それは10-7から10-8 Torrの範囲の真空レベルを維持することができます。ハードウェアコンポーネントに加えて、ユーザーが特定の堆積およびフォトレジストプロセスに合わせたレシピを作成できる独自のソフトウェアパッケージが含まれています。このレシピでは、堆積物の厚さ、フォトレジストが反応管を流れる速度、薄膜蒸着源を配置する角度、プロセスチャンバー内の真空圧力など、機械パラメータを正確に制御できます。このツールはバッチ処理用に設計されており、あらゆるサイズの半導体メーカーに適しています。高いスループット、優れたプロセス制御、コストと時間の大幅な削減を実現します。さらに、資産は非常に信頼性が高く、99。9％を超える故障率の間の平均時間です。これにより、各プロセスの安全性と効率性が確保され、頻繁なメンテナンスの必要性がなくなります。OEM SAT 2081D2PCCUは、さまざまな半導体製造プロセスに最適な堅牢で費用対効果の高いフォトレジストモデルです。その多様な機能と機能により、フォトリソグラフィープロセスを合理化したいお客様に最適です。