中古 SEMITOOL / OEM SAT 2081D2PCCU #9400645 を販売中

SEMITOOL/OEM SAT 2081D2PCCUは、先進的な半導体製造のために特別に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、光源、プロセスチャンバー、温度制御システムを1つのソリューションに統合します。また、加工チャンバ内に発光アレイ（LEA）を備えており、広い基板上での光カバレッジを向上させることができます。光源は直接結合された発光ダイオード（LED）の配列に基づいており、高輝度、狭いスペクトル、UV照射（250〜405nm）を生成し、149°Cの温度プロファイルを維持します。これにより、材料が均一かつ均一に扱われるようになります。さらに、光スポットサイズは、異なるサイズの基板に対応するために調整することができます。プロセス部屋は均一な基質の温度を維持するために統合された熱交換器と密封され、加圧されます。このチャンバーには真空素子も装備されており、不活性ガスを使用して大気のない処理環境を作り出すことができます。温度制御ユニットは、セラミックヒーター、電気加熱プレート（EHP）、ホットプレートの3つの独立した温度制御要素で構成されています。セラミックヒーターは基板の所望の温度を維持し、EHPとホットプレートはプロセスチャンバーの温度プロファイルを制御するために使用されます。OEM SAT 2081D2PCCUフォトレジストマシンは、2秒の最大サイクルタイムで、超高速処理のために設計されています。また、反射防止技術と高度な基板処理を備えており、複雑なデバイスの作成に適しています。このツールの柔軟な電源設定とセキュアアドバンスライトシールドにより、基板の均一な露出が得られ、エッジ効果による加工ミスが軽減されます。さらに、このアセットは優れた再現性と全体的な性能を備えているため、最も厳しい産業環境でも信頼性が高くなります。全体として、SEMITOOL SAT 2081D2PCCUは、高速かつ正確な半導体製造のために特別に設計された優れた設計のフォトレジストモデルです。処理環境の温度変動を効果的に管理しながら、信頼性の高いパフォーマンスを提供します。さまざまな基板に対応できるため、先進的な半導体デバイスの生産に最適です。