中古 SEMITOOL Millennium #9207932 を販売中

SEMITOOL Millenniumは半導体産業の高精度の要求に応えるために設計されたフォトレジスト機器です。深層ビアの作成から極細線などの形状成形まで、半導体上で非常に薄く均一なエッチングパターンを様々な用途で生産することができます。このシステムは、化学的に阻害されたプロセスを利用して、さまざまな基板やプロセス条件でも、欠陥の数が少なく、エッチングパターンの一貫性が高いことを保証します。汎用性が高く、お客様のニーズに合わせて様々な基板やフォトレジストの調整が可能です。ミレニアムはフォトレジストエッチングの3段階のアプローチを採用しています。第1段階は、基板表面に薄く均一なレジスト層を形成するフォトレジストコーティング工程で構成されています。第二に、プロフィロメトリーは、目的のエッチング深さを決定するために使用されます。この情報は次に第3段階に供給されます：実際のフォトレジストパターニングを行う特殊なコンピューター制御エッチングマシン。3つのステージはすべて、可能な限り最高の解像度、最も均一なエッチングパターンを提供するように設計されています。SEMITOOL Millenniumツールには、エッチングプロセスの精度と均一性を保証するさまざまなツールも装備されています。これらのツールには、プロセスが各ステップで最適化されていることを保証する自動フィーチャー認識（AFR）アセットが含まれます。このモデルは、時間を節約し、エッチングプロセスと所望のパターン間の不一致を排除します。さらに、装置には高解像度（HR）ツールがあり、エッチングの深さを高精度に測定できます。これは、最大50ミクロンのエッチング深度を達成する必要がある場合に特に有用です。最後に、システムには障害検出ユニットがあり、フォトレジストの不適切な読み込みなどの潜在的なエラーを検出し、エッチング障害につながる可能性があります。結論として、Millenniumは半導体業界の厳しい要求に応えるように設計された先進的なフォトレジストマシンです。化学的に阻害されたエッチング工程を利用して、さまざまな基板やプロセス条件における均一で欠陥のないエッチングを行い、高い精度と均一性を確保します。さらに、汎用性が高く、お客様のニーズに合わせてカスタマイズすることができます。