中古 SEMITOOL / M-TECH ST-870 #9265364 を販売中

SEMITOOL/M-TECH ST-870フォトレジスト装置は、市場で最も先進的なスピンコーターの1つであり、費用対効果の高い品質の結果を提供する能力を備えています。M-TECH ST-870は、シリコン、石英、ガラス、ヒ素ガリウムなどの幅広い基板をコーティングする際に、正確で均一な膜厚を確保するように設計されています。これは、様々なオートメーションが組み込まれた高度な制御パッケージを提供しています。このシステムを使用すると、モータの調整を制御し、部品の重量プロファイルを確立し、重要な基板パラメータを維持できます。SEMITOOL ST-870は、ステンレス鋼のスピンフレーム作業、フレームアセンブリ、およびオプションの「真空フレーム」の3つの主要コンポーネントで構成されるスピンヘッドフレーム設計を備えています。この設計により、基板を確実に取り付けることができ、コーティング時の精度と一貫性を確保します。耐食性のある材料仕上げと組み合わされたステンレス鋼構造は、さらなる耐久性を提供します。フレームアセンブリは、コーティング中にスピンヘッドを所定の位置に保持します。また、自動角度調整可能なアームを備えているため、スピン方向を変更する必要なく幅広い基板角度を噴霧することができます。ST-870は温度制御された熱湯、および改善された性能のための強制空気冷却プロセスを特色にします。このユニットは、毎回均一で均一なフィルムを確保し、最大2000RPMで単一または複数の基板をコーティングするために使用できます。モータのトルクは、起動速度から最大33 G-cmまで調整可能です。モーター調整可能オートプロミッションにより、ユーザーは継続サイクル実行のための初期サイクル時間と終了時間の両方を設定できます。さらに、すすぎオプションは、最小限の労力で汚染基板の再設計を可能にします。SEMITOOL/M-TECH ST-870には、触媒コーティング、Molecularlayer Deposition （MLD）、パリレンCSD™など、優れた感光デバイス保護のためのさまざまなアプリケーション固有のプロセスがあります。また、パフォーマンスを最適化し、サイクルタイムを短縮するための複数の調整可能なパラメータを備えた診断機を備えています。このツールには、中央データ管理モデルに接続できる資産管理ボードが含まれており、プロセスをより簡単かつ効率的に制御できます。M-TECH ST-870には、機器の信頼性を向上させるための統合された操作およびプロセス管理監視および文書制御スイートが装備されています。要するに、SEMITOOL ST-870フォトレジスト装置は、今日の市場で最も先進的なスピンコーターの1つであり、均一な膜厚を維持しながら、さまざまな基板をコーティングするための高性能ソリューションを提供します。それは優れた信頼性のために設計されており、温度制御された浴室と高性能のための強制空冷プロセスを備えています。ST-870は高度にカスタマイズ可能で、多くのアプリケーション固有のプロセスとパフォーマンスを最適化するための調整可能なパラメータがあります。また、データ管理を改善するための統合された操作とプロセス管理監視ソフトウェアが装備されています。