中古 SEMITOOL Equinox #9408167 を販売中
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SEMITOOL Equinoxは、半導体ウェーハ加工におけるドライフィルム用途向けに設計されたフォトレジスト加工装置です。大容量の生産環境で使用するために特別に設計されており、ウェーハ表面のコーティングに抵抗するための完全に自動化されたハンズオフのアプローチを提供します。独自のピンアンドカップウェハトランスポートユニットを採用し、UV光源とウエハ表面にレジスト材を供給する精密ガス搬送機を搭載しています。Equinoxのピンアンドカップツールは、ウェーハ間のスループットと一貫したコーティング品質、コーティングされたウェーハの容易な取得を可能にします。この資産はまた、クリーンな処理環境を確保するための現場洗浄能力を誇っています。SEMITOOL Equinoxは、5〜12ミクロンの厚さでレジスト材料を提供することができます。ウェーハの搬送速度は調整可能で、1時間あたり最大150個のウェーハを処理することができます。EquinoxのUV光源は、365ナノメートルの波長でUV光を放射する一連のランプを使用しており、フォトリソグラフィのプロセスに最適です。また、光源の強度を制御するための可変電源も備えています。さらに、SEMITOOL Equinoxは、最大4つの圧力センサポイントを備えたレジスト材料の配送を制御するための完全自動モデルと、バブリングやスパッタリングなどのガスおよび化学物質の配送方法を備えています。Equinoxは、機械内の一貫した空気品質を維持するために、独自のエアフィルタリング装置を使用しています。一連のろ過パッドを通して機械に入る空気をろ過し、汚染を最小限に抑えたクリーンな処理環境を実現します。SEMITOOL Equinoxは、フォトリソグラフィおよび半導体ウェーハ処理のための強力なツールであり、効率的で自動化されたレジストコーティング手段を提供します。幅広い機能を備えており、大量生産環境や研究開発ラボに適しています。
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