中古 SEMITOOL Equinox #9377488 を販売中

SEMITOOL Equinoxは、半導体およびその他のナノスケール機器の製造において精度、再現性、品質を提供するように設計された先進的なフォトレジスト機器です。このシステムは、滑らかな仕上げに研磨された基板上にフォトレジストの薄膜を開発する一連のステップで構成されています。このユニットは、フォトレジストがウェーハ全体に均一に適用されることを保証する環境チャンバーを提供します。また、ウェーハの厚さを測定するウエハスキャンツールを内蔵し、フォトレジストの厚さをオンサイトで制御および監視し、必要に応じてフォトレジスト層の厚さを自動的に調整します。フォトレジスト層は、紫外線（UV）光で露出され、その強度を正確に制御および監視することができます。UV露出により、フォトレジストはウェーハ上にパターンを形成します。その後、露出後のベーキングステップを実行して、残りの溶媒を調理し、エッチング、沈着、リソグラフィなどの追加プロセスのためにフォトレジストを硬化させます。フォトエッチングプロセスは、作成されたフォトレジストパターンがナノメートルレベルまで完全に複製されるようにするための重要なステップです。Equinoxには、ウェーハ内のフォトレジストパターンをエッチングするために使用されるオンボードエッチングプロセスが含まれています。また、エッチングプロセスを微調整することにより、より高い精度と精度を実現します。さらに、このアセットは、フォトレジストプロセスのすべての段階で高温の均一性を提供するように設計されています。これにより、フォトレジスト層の均一な堆積が保証され、エッチプロファイルの偏差が防止され、各サンプルがウェハとわずかに異なる場合でも、まったく同じ特性を持つことができます。一言で言えば、SEMITOOL Equinoxは、高精度のナノスケール機器の開発に使用できる強力なフォトレジストモデルです。これは、プロセスのすべての段階で均一なフォトレジスト層、正確で正確なエッチング、および均一な高温を確保するための多数の統合システムを含みます。この装置はまた、リアルタイムの監視と制御を可能にするオンボードウェハスキャンシステムを提供します。