中古 SEMITOOL Equinox #9243044 を販売中

SEMITOOL Equinoxは、半導体産業のフォトレジストの効率的な取り扱いと処理のために設計されたフォトレジスト機器です。レシピ開発と自動化のための信頼できるプラットフォームを提供する完全統合ソリューションです。このシステムは、前処理、複数のベーカーモジュール、コーティング、露出、開発、ベーキングおよび後処理を組み込んだエンドツーエンドのフォトレジストプロセスを備えています。このユニットは、ファクトリーオートメーション制御環境にシームレスに統合できる自動ライン機能を備えています。フロントエンドの処理装置からウェーハキャリアを受け入れ、次の工程に出力するように設定できます。このマシンは、幅広いフォトレジストで動作するように設計されており、さまざまなコーティング、露出、開発、ベーキングプロセスを正常に処理します。このツールには、チャンバ、モジュール、プロセス入力、および出力を正確に制御するための高度な制御ソフトウェアが装備されています。各モジュールは、独自の制御ソフトウェアを介して個別に制御することができます。ソフトウェアは、フォトレジストアプリケーションの様々なプロセスレシピの開発と保存を可能にします。このアセットは、使いやすいタッチスクリーンコントロールと10。4 インチTFT液晶ディスプレイで構成されており、リアルタイムのプロセス監視と調整が可能です。Equinoxには、目視検査と検証のためのオンボードカメラも装備されています。また、正確な温度監視と制御のための温度プローブが装備されています。このモデルには、ドアを開けたときにシステムの偶発的な動作を防止する特許取得済みの安全インターロック装置の組み込みなど、幅広い安全機能が装備されています。また、故障や故障時に自動的に機械への電源を遮断するサーキットブレーカ安全ユニットを備えています。すべてのツール操作は、常に実行されているホストコンピュータによって監視されます。全体として、SEMITOOL Equinoxは、効率的で信頼性の高い操作のために設計された高度なフォトレジスト資産です。フォトレジストのレシピとオートメーションを開発するための統合プラットフォームと、正確なプロセス監視と調整のための高度な制御ソフトウェアを提供します。また、安全動作を確保するために複数の安全機能を備えています。