中古 SEMITOOL Equinox #9229811 を販売中

SEMITOOL Equinoxは、プラズマエッチング、PVD、ストリップ、クリーニングプロセス用に特別に設計された高性能、マルチチャンバーフォトレジスト機器です。最先端のマイクロエレクトロニクス業界のニーズに応えるために開発されており、メーカーが競争力を維持できるように優れた薄膜加工能力を提供しています。Equinoxは、超微細機能製造を可能にする完全に統合されたシステムであり、高度な写真およびMEMSデバイス製造技術に最適です。これは、1,000リットルの容量を組み合わせた3つの独立したプロセスチャンバーを備えています。チャンバは、0。25〜50 torrの圧力範囲で動作し、300°Cまでの温度で動作できます。各チャンバーには、スロットとピンフォトマスク、スリットマスク、シャドウ加工プレートのさまざまな組み合わせが可能で、すべての薄膜、エッチング、ストリップ工程で正確なパターニングが可能です。3つの独立したプロセスチャンバーは、特別に設計されたSEMITOOL Equinoxプロセスコントロールユニット*と連携して動作します。このインテリジェントマシンは、各チャンバーを個別に監視し、必要に応じてリアルタイムのプロセス調整を行うことができます。さらに、Equinoxプロセス制御ツールは、最適な効率とパフォーマンスを確保するために、資産診断、ウェーハトラッキング、レシピ制御および統計プロセス制御を実行することができます。SEMITOOL Equinoxには、プラズマエッチング、PVD、ウェットエッチング操作時にプロセスを監視および制御できる独自のマルチレベル端点検出モデルが装備されています。マルチレベルのエンドポイント検出装置により、メーカーはエッチプロファイルを正確に監視し、望ましい結果がいつ達成されたかを判断することができます。Equinoxは優れたフォトレジストシステム性能と比類のない品質管理を提供します。この高度なユニットにより、製造プロセスが簡素化され、製造メーカーは優れた精度と速度で複雑な構造を作成することができます。フットプリントの小型化、柔軟な設計、包括的なプロセス制御機能を備えたSEMITOOL Equinoxは、正確で効率的なフォトレジスト処理に最適です。