中古 SEMITOOL Equinox #9227332 を販売中

製造業者
SEMITOOL
モデル
Equinox
ID: 9227332
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2005
Plating system, 6" (4) Plating chambers (2) Preclean / SRD Chambers GENMARK Radial robot Tank ultrasonic level sensor ARU Interface Levitronix pumps Surpass flow meters PALL Filter housings, 10" (Plating cells) PALL Filter, 4" (Prewet tank) Sample port Fire suppression system Chemical bulk fill DYNATRONIX Pro series plating power supply (4-Cells) Tank heat exchange connection Power requirements: 208 VAC, 80 A, 50/60 Hz 2005 vintage.
SEMITOOL Equinoxは、半導体装置の大手メーカーが開発したフォトレジスト機器で、高い精度と精度でフォトレジスト材料を製造できるように設計されています。このマシンは、レーザー支援エッチング技術を使用して、地形を追加または変更します。このフォトレジスト技術は、複雑な形状の詳細な層を作るこのマシンの能力のために、「ダイレクトライト」とも呼ばれています。Equinoxシステムは、フォトレジスト材料の表面に小さなレーザーマイクロパターンを生成するために使用される高分解能レーザー源を備えています。このレーザーにすべての詳細な構造が正確に置かれることを保障するために測定がなされるたびに自己一直線に並ぶ機能があります。このデバイスを使用すると、長方形のシリコンウェーハから成形基板まで、さまざまな形状やサイズのウェーハにフォトレジスト層を正確にパターン化できます。SEMITOOL Equinoxフォトレジストユニットには、強力なイメージングおよび解析ソフトウェアが含まれています。このソフトウェアは、エッチングプロセスのオンライン監視を可能にし、ユーザーはより良い品質のエッチングを達成するために、レーザーや他のパラメータの位置を調整することができます。その強力なイメージングモジュールはまた、ユーザーがリアルタイムでエッチング結果を視覚化することを可能にします。Equinoxフォトレジストマシンは、生産環境で使用するように設計されているため、正確かつ信頼性の高い動作が可能です。それはバッチまたは単一のプロセス構成の基質を処理でき、非常に厳しい環境でも作動できます。さらに、このツールには、製造中の障害を検出するためのスマートセンサーが搭載されています。最後に、SEMITOOL Equinoxフォトレジスト資産は、安全で費用対効果の高いように設計されています。これは、最新の安全技術とフォトレジスト材料を加工するための最も経済的なアプローチを使用して達成されます。自動化された効率的なプロセスにより、業界をリードする一貫した結果が保証されます。また、様々な基板での使用に適した設計となっており、最適なコストパフォーマンスを実現しています。
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