中古 SEMITOOL Equinox #9207969 を販売中

SEMITOOL Equinoxは、半導体ウェーハ加工用に設計された高精度フォトレジスト加工装置です。高性能マイクロエレクトロニクスデバイス用のサブミクロンスケール回路設計を可能にするために、信頼性と精度の高いフォトレジストをウェーハに堆積させるように設計されています。Equinoxシステムは、高精度で反復可能なフォトレジストコーティング用に設計されています。特許取得済みの前処理技術を使用して、フォトレジスト沈着の優れた接着性と均一性を確保しています。このユニットには、フォトレジスト表面を準備するための乾燥化学スプレーヤー、フォトレジストを堆積させるためのスピンコーター、およびウェーハにフォトレジスト層を適切に固定するのに役立つ特殊な低温ポストプアベークが含まれています。SEMITOOL Equinoxマシンは、さまざまな厚さの複数のフォトレジスト層を堆積する際に正確な結果を提供する自動エンドポイント検出機能も備えています。酸素窒素、窒素、サイレントアルゴン、高圧乾燥排気などの複数の温度制御モードを備えています。これにより、コーティング工程をより正確に制御することができます。これは、さまざまな厚さで高品質のフォトレジスト層を生成するために不可欠です。Equinoxツールには、一貫した信頼性の高いパフォーマンスを提供し、資産の過負荷や損傷を防ぐための安全プロトコルが内蔵されています。洗練されたDense Sublimationモデルが特徴で、ある層から別の層への均一で反復可能な沈殿物を保証します。また、静的およびエアロゾル汚染の導入を排除し、その後のデバイス層が清潔で欠陥がないようにするコンタミネーションフリー環境もあります。SEMITOOL Equinoxは幅広いプロセス能力を持ち、SU-8、 AZ、 BISMOC、 PMMAなどのさまざまなフォトレジストタイプを簡単に処理できます。1時間あたり最大25個のウェーハを処理できるように設計されており、フォトレジストの蒸着時間を延長するための優れたプロセス制御と信頼性を提供します。ユニークなマルチポイントスピンコート法が特徴で、均一で反復可能なプロセス性能を保証します。Equinoxは全般的に、半導体ウェーハ加工のための正確で再現性のあるフォトレジスト成膜を提供するように設計された高精度フォトレジスト加工装置です。高性能マイクロエレクトロニクスデバイス用の迅速で効率的で信頼性の高いフォトレジストコーティングを保証するために、さまざまな高度な機能とプロセス機能を備えています。