中古 SEMITOOL Equinox #9023047 を販売中

SEMITOOL Equinoxは、高度な微細加工プロセスで使用するために設計されたフォトレジスト除去装置です。それはフォトレジスト層に紫外線の強い線量を加えることによって作動し、特定の地域で分解する。光の線量を制御し、周波数を変化させることにより、露出領域の形状を操作して特定のパターンを作成することができます。このシステムは、最大150mmのウェーハサイズに対応するように設計されており、解像度は1 µmです。このユニットは、マイクロエレクトロニクス製造に使用されるすべてのタイプのフォトレジストの迅速な除去に使用されます。これには、酸とアルカリのフォトレジスト、深紫外線フォトレジスト、およびその他の専門フォトレジストが含まれます。このマシンは、メモリ回路、ロジックデバイス、その他の複雑な構造などの小さな機能からフォトレジストを微細な解像度で除去することもできます。Equinoxはfl exibleおよびカスタマイズ可能であるように設計されています、従っていろいろな基質の条件を満たすために合わせることができます。これは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えたデジタル制御ツールを備えています。これにより、パラメータの設定と調整が容易になり、プロセスの一貫性が大幅に向上します。アセットの高度なエンジニアリングは、スループットを向上させる最短のプロセス時間を保証します。また、フォトレジスト除去工程で発生する廃棄物の量を削減します。このモデルは低温でも動作し、デリケートな部品への損傷のリスクを低減します。SEMITOOL Equinoxは安全性を念頭に置いて設計されており、偶発的な露出を防ぐために自動パワーシャットオフとインターロックを備えています。また、安全な動作を確保するために、二次および三次安全インターロックを備えたクラス1レーザー装置を備えています。Equinoxは優れた性能、信頼性、安全性を備えており、幅広いフォトレジスト除去アプリケーションに最適なツールです。メモリ回路からロジックデバイス、その他の複雑な構造まで、SEMITOOL Equinoxはプロフェッショナルな結果を得るための好ましいツールです。