中古 SEMITOOL Equinox #9023046 を販売中

SEMITOOL Equinoxは、レジスト材料とエッチングプロセスを正確に適用するために設計されたフォトレジスト機器です。半導体製造業界のニーズを支えるために開発された、コスト効率に優れた堅牢なシステムです。Equinoxユニットは、ウェットエッチング、ドライエッチング、スパッタリング、化学機械研磨（CMP）など、幅広いプロセスに対応できます。このマシンは、単一のウエハアプリケーション用に設計されており、高いウエハー処理精度を提供します。また、基板消費量が低く、運用コストが低いという特徴もあります。このツールには、高度な診断、レシピとレシピテスト、および自動プロセスのパフォーマンス監視をサポートするオンボードコントローラが装備されています。また、高い精度を提供し、その選択的エッチング機能は、所望の結果が正確さを損なうことなく達成されることを保証します。このアセットは4つの独立したチャンバーで構成されており、クロス汚染やプロセスチャンバーへの偶発的な粒子の導入を避けるための分離モデル環境を提供します。これにより、時間、エネルギーを節約し、プロセスの歩留まりを改善します。本装置のウェーハホルダーは、基板の積み下ろし、ウェーハ搬送が容易であり、チャンバー設計によりウェーハセンタリングが容易になります。また、フィールドレベルのドリフト監視システムも備えており、さらに精度を向上させます。SEMITOOL Equinoxユニットには、手動または自動の2つの動作モードがあります。マニュアルモードは一般的にスループットが低くなりますが、プロセスパラメータをより適切に制御できます。自動化モードは、より高いスループットを提供し、より低いマシンコストを提供しますが、より高いレベルのプロセス制御と専門知識が必要です。優れた処理能力に加えて、Equinoxツールにはさまざまなアクセサリとアップグレードオプションが付属しています。これには、スピナー、ウェーハ照射システム、強化イオンソースモジュール、高度なバックエンドモジュール、プロセスの精度を向上させるために設計されたさまざまなソフトウェアオプションが含まれます。結論として、SEMITOOL Equinoxアセットは、コストとエネルギー消費を最小限に抑えながら、メーカーが高性能レベルを達成できるように設計された高度なフォトレジストモデルです。その幅広い機能により、ユーザーは特定のアプリケーションのニーズに最適なソリューションを見つけることができます。