中古 SEMITOOL Equinox #293797045 を販売中

SEMITOOL Equinoxは、フォトリソグラフィープロセスの生産性を向上させるために設計されたフォトレジスト機器です。負荷/アンロードプロセスを簡素化し、手動での介入を減らし、クリーンルームの互換性を提供するように設計されています。先進半導体やMEMSファブでの使用に最適なコンパクトで費用対効果の高いツールを提供します。Equinoxは革新的なデュアルプラテン輸送システム（DPTS）を備えています。ワークの同時積み降ろしを可能にすることで、納期を短縮し、スループットを飛躍的に向上させます。このマシンは、完全に自動化された基板とアダプターの取り扱いも備えており、手動での介入を排除します。このツールはクリーンルームにも対応しており、粒子汚染を低減する最先端の設計要素を備えています。これらの設計要素には、ウェーハチャンバー間のダイナミックな粒子絶縁、密閉されたウェーハ転送コンベア、およびガスバブルウェーハキャリアが含まれます。さらに、このツールには統合されたControl Enclosure Module （CEM）が装備されており、汚染を防ぎ、追加の空気ろ過なしでクリーンルーム操作を可能にする閉じた環境を作り出します。SEMITOOL Equinoxには、ユーザーフレンドリーなLCDタッチスクリーンインターフェイスもあります。その直感的なメニュー構造は、簡単な操作を保証し、標準的なコンソールよりも柔軟性を提供します。このツールには、さまざまな材料に最適化されたプロセスを含む、標準レシピの広範なライブラリが装備されています。Equinoxは、半導体およびMEMS製造ニーズに最適なソリューションを提供します。それは高い生産性、優秀なクリーンルームの両立性、ユーザーフレンドリーな操作および適用範囲が広いプロセス制御を提供します。したがって、高度なファブのフォトリソグラフィープロセスに最適なツールです。