中古 SEMITOOL Equinox #293659794 を販売中

製造業者
SEMITOOL
モデル
Equinox
ID: 293659794
ヴィンテージ: 2007
Electroplating system Package: Plastic wrap Dimensions: (L)1190 mm x (W) 775 mm x (H) 1235 mm Dry film dimension: Film width: 150~640 m/m Membrane diameter: ≤ 4250 mm Feeding section: 31.5 m/m, P= 76 m/m Roller: Aluminium Size (cm): 190 x 160 x 192 Temperature control: PID type S.S.R drive Manual feeder Temperature range: 120°C Power supply: AC 220 V 1φ, 50/60 Hz, 3.5kVA 2007 vintage.
SEMITOOL Equinoxは、高度なリソグラフィープロセス用に設計されたフォトレジスト機器です。Equinoxは、微細加工プロセス向けに設計された最先端のシステムで、高精度な半導体部品の製造に使用できます。SEMITOOL Equinoxは、わかりやすいメニューユニットを備えたユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスを含む最新技術を備えています。高精度なリソグラフィ結果を得るために必要な超音波環境を維持しつつ、迅速かつ自動化された加工が可能です。Equinoxはまた、基板前処理、両面コーティング、接着、レジストおよび底面反射防止コーティング、スピンコート処理、ソフトベーク、スピン開発、エッチング、ストリッピング、およびCMP(化学機械研磨)などのさまざまな機能を提供しています。フォトレジストツールは非常に効率的で、メンテナンスを最小限に抑える必要があります。低コストの設備と効率的なビルド構造により、製造コストが低く維持されます。さらに、この資産は迅速な処理とラボの自動化を容易にするように設計されており、これは特に小規模な生産バッチにとって有益です。SEMITOOL Equinoxフォトレジストモデルは、金属、薄膜、厚膜、ポリイミド、有機基板など幅広い基板に対応しています。さらに、レジストと基板材料は統合されたストレージ機器に格納されているため、簡単かつ便利にアクセスできます。Equinoxは、基板、レジスト、クリーニング機能に加えて、ウェハ形状または基板タイプに基づいて上側または下側のアライメントを素早く調整できるリアルタイム自動アライメントカメラも備えています。これは、トップマウントされた背面光学照明カメラとその高度なソフトウェアアルゴリズムの組み合わせによって実現されます。SEMITOOL Equinoxフォトレジストシステムは、半導体部品の微細加工プロセスをサポートするために設計された革新的で高度なリソグラフィーユニットです。特殊な機能、使いやすさ、費用対効果を備え、高精度の部品や製品の生産を容易にすることができます。
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