中古 SEMITOOL Equinox #293648582 を販売中
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ID: 293648582
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2010
Electroplating system, 6"
Non-functional
Single wafer process head design
Material: Ni sulfamate plating (tank 1) and gold sulfite (tank 2)
Gold sulfite is a non-cyanide solution
Fountain plater with (2) Separate plating bath tanks and (2) SRD Heads
(4) Heads
Input cassette on left nest
Output cassette on right nest
Robot connection, non-functional
Plating cell power supply
CP2 Head, non-functional
(2) SRD Chambers
(2) Plating chambers
DYNATRONIX PMC 102/1PR-20-30XR Power supply (P/N: 990-0296-212)
Power supply: 208 V, 50/60 Hz, 40 A, 3 Phase
2010 vintage.
SEMITOOL Equinoxは半導体製造のために設計されたフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、半導体の製造に使用され、シリコンウェーハ上に半導体材料の層を作成します。Equinoxシステムは、生産をスピードアップし、必要な人件費を削減する自動プロセスを備えています。SEMITOOL Equinoxは、1時間あたり最大300mmで4インチまたは6インチのウェーハを処理することができます。オープンなプラットフォーム設計により、ユーザーはカスタムソフトウェアアルゴリズムを処理制御スキームにすばやく簡単に統合できます。そのソフトウェアオプションは、ステップとリピート、画像のぼかし、高度なアライメントなどの高度なフォトリソグラフィックツールとテクニックをサポートしています。Equinoxは堅牢な2ロックウェーハ転送ユニットを備えています。これにより、ウェーハと関連するマスク間の正確なアライメントが可能になります。また、デュアルステージスピンチャックを搭載しており、ウェハハンドリングを向上させるためのインテグラルセンタリング機能を備えています。SEMITOOL Equinoxは信頼性と堅牢性のためにも設計されており、フレームは頑丈なアルミニウムと耐食部品から構成されています。機械のソフトウェアは、精度と再現性を確保するように設計されています。安定したソリッドステート動作プラットフォーム上で動作し、リアルタイムのプロセス監視と分析を提供します。このソフトウェアは、最大5つのユーザーベースの制御スキームを提供し、マクロファイルの生成と実行も提供します。Equinoxのヒーターの段階は精密温度調整を提供し、速く、正確なパターンイメージングを保障します。このツールは調整可能なスリットも備えており、ユーザーはパターンを調整することができます。SEMITOOL Equinoxは、標準パターンアルゴリズムとカスタムスクリプトをサポートし、顧客のニーズに合わせたエクスポージャーを提供します。アセットはまた、最大のプロセス制御と均一性を提供するように設計されています。プロセスの各要素に別個のコントローラを備えており、ユーザーはすべてのプロセスパラメータを簡単に監視および調整できます。Equinoxは、開発時間を最小限に抑え、ツールの使用率を向上させるための高度なキャッシュモデルも備えています。結論として、SEMITOOL Equinox装置は、ハイスループット半導体製造に最適な信頼性とコンパクトなフォトレジストシステムです。自動化されたプロセス、精密温度制御、堅牢なウェーハ転送ユニット、高度なパターニングオプションにより、あらゆるチップ製造ニーズに最適です。
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