中古 SEMITOOL Equinox #293646994 を販売中

SEMITOOL Equinoxは、スピンコーティング、スプレーコーティング、ディップコーティング、スロットコーティング技術など、さまざまな用途に使用されるフォトレジスト機器です。複雑な基板を加工しても、フォトレジストコーティング工程を正確に制御できるように設計されています。Equinoxには、他のシステムと区別するいくつかの重要な機能があります。システムの自動分配コントローラは、正確で再現性のあるフォトレジストウェーハのローディングを保証します。これにより、正確なプロセスパラメータを維持するために必要な時間とリソースが削減されます。SEMITOOL Equinoxのもう一つの便利な機能は、真空チャンバーと紫外線照射を使用してフォトレジストを乾燥させて治すAutoClave技術です。これにより、追加の乾燥プロセスが不要になり、スループットと使用時間が向上します。また、革新的なスロットコーティングヘッドを備えており、フォトレジストを最大1000°C （1832°F）でアニールするように設計されています。これらの機能に加えて、Equinoxマシンは、特定のアプリケーションに最適な結果を得るために、処理パラメータを最適化する柔軟性をユーザーに提供します。スピン速度、基板温度、露光時間などの変数を調整して、目的の結果を得ることができます。このツールには、汎用性を高めるためのさまざまなアクセサリーも付属しています。例えば、正確な位置決めを保証する自動ウェーハセンタリングユニットと、スプレーコーティング用途向けの複数のシャワーヘッドアセンブリがあります。このアセットは、タッチスクリーンインターフェイスと自己診断機能のおかげで使いやすく、メンテナンスも簡単です。また、非常に信頼性が高く、中断することなく一度に最大8時間動作するように設計されています。これにより、自動生産に特に適しています。さらに、SEMITOOL Equinoxは、あらゆるラボや企業のフロア環境に適合するコンパクトなモデルなので、既存のプロセスに簡単に統合できます。最後に、装置は包括的な1年間の保証が付属しており、競争力のある価格で利用できます。