中古 SEMITOOL Equinox #293590461 を販売中

SEMITOOL Equinoxは、さまざまな技術の生産またはプロトタイピングで広く使用されているフォトレジスト機器です。従来のフォトリソグラフィの精度と高度なオートメーションを組み合わせ、さまざまな複雑な機能とプロセスを迅速かつ正確に生成できます。フォトレジストシステム自体は、望ましい結果を達成するために一緒に動作するいくつかのコンポーネントで構成されています。主なコンポーネントは、リソグラフィープラットフォーム、フォトレジスト層、自動マスクアライナー、タイマーモジュールです。操作の基本的な原則は、フォトレジスト層をリソグラフィープラットフォームに貼り付け、自動マスクアライナーを使用して正確にマスクパターンをフォトレジスト層に配置して露出させることです。タイマーモジュールは露光時間を設定し、希望のパターンをフォトレジスト層に印刷します。フォトレジストユニットは、伝統的なリソグラフィ手法に比べていくつかの利点があります。たとえば、機械の精度がはるかに優れているため、非常に小さな機能を高精度で分解することができます。一方、自動化されたマスクアライナーは、マスク層の位置決めを非常に正確かつ手動の方法よりもはるかに高速にします。さらに、タイマーモジュールは、露光時間を正確に制御し、数百ミリ秒の分解能を提供し、露光時間中に特定のポイントでリソグラフィ処理を自動的に停止および再起動することができます。全体的に、Equinoxは複雑なデバイスの正確かつ効率的な生産のために必要なすべてのコンポーネントを提供する可能なフォトレジストツールです。手作業と自動化されたプロセスを組み合わせて、時間のほんの一部で優れた結果を生み出し、半導体デバイスの生産の世界に進出したい人には必須のツールです。