中古 SEMITOOL Equinox E0212 #70448 を販売中

SEMITOOL Equinox E0212は、集積回路（IC）の製造に使用されるフォトレジスト機器です。プラスフォトレジスト、ネガティブフォトレジスト、耐溶剤性、深紫外線フォトレジストなど、さまざまなフォトレジスト化学を処理するために設計された、最大1。2 µmのレジストステップと12 mの小型機能をサポートするフル機能システムです。Equinox E0212には5軸コーター/デベロッパーヘッドが装備されており、正確で均一なレジストコーティングと開発が可能です。このマシンには、レジスト処理用の2ゾーン、ジャケット、ステンレス製タンク、残りの3つのタンク用のバッチレベルのツールが含まれています。SEMITOOL Equinox E0212は、高度なロボット技術と統合されており、最大318mm x 318mmの大型基板に対応できます。本アセットは、基板ローディングの均一性を確保するために、電気機械式ウェーハリフティングおよび自動レベリング技術を使用し、12mライン幅の生産レベルの歩留まりを提供します。Equinox E0212は機能以外にも、生産スループットを向上させるように設計されています。インライン攪拌、電気機械チャンバーの蓋、速度制御システム、パージ制御モデルなどの高速プロセスをサポートし、ステップ処理時の抵抗損失を最小限に抑えます。この装置はまた口径測定および機械状態の監視のための理性的な診断機能を含んでいます。ユーザーの安全を確保するため、SEMITOOL Equinox E0212には、クリーンルーム監視、レーザー破壊、有害物質管理システムなどの安全および監視システムが装備されています。このユニットには、危険な状況や工具の故障で作動する非常停止装置も含まれています。全体的に、Equinox E0212は、さまざまなフォトレジスト化学を精度と効率で処理するように設計されたフル機能のフォトレジスト資産です。5軸コーター/デベロッパーヘッドやエレクトロメカニカルウェハリフティングなどの高度な機能により、生産レベルの歩留まりで基板を処理できます。また、安全を念頭に置いて設計されており、いくつかの安全および監視システムが含まれています。