中古 SEMITOOL EQ23 #9287636 を販売中

SEMITOOL EQ23装置は、半導体集積回路やその他のマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用するために設計されたフォトレジストシステムです。フォトレジストなど半導体製造プロセス向けのハイスループットソリューションを提供するように設計された一連のモジュールを備えた自動トラックベースのユニットです。EQ23マシンはモジュラーアーキテクチャで設計されており、2つの別々のトラックで構成されています。プライマリトラックは、フォトレジスト加工用ウェットモジュール、スピンドライヤモジュール、フォトレジストストリップモジュール、フォトレジスト適用用スピンコートモジュールの4つのプロセスモジュールで構成されています。2つ目のトラックは、エッチング用スピンエッチングモジュール、エッチング後のチップ洗浄用クリーンモジュール、目視検査用の検査モジュールの3つのモジュールで構成されています。このツールを使用すると、ユーザーはすべての材料輸送およびプロセス機能、およびオンボードプロセスパラメータ調整を完全に制御できます。ウェットモジュールには、フォトレジストケミカル用の貯水池セット、フトレジストパッテニング用のアプリケーター、およびレジストパターンの均一性を確保するための誘電加熱シャワーノズルが含まれています。スピン洗浄乾燥モジュールは、基板からレジストを回転させるために使用され、残りのレジストはストリップモジュールで自動的に除去されます。スピンコートモジュールは、基板上にフォトレジストを均一に蒸着させるように設計されていますが、スピンエッチモジュールは不要な金属をエッチングするために使用されます。クリーンモジュールは、金属エッチング後の基板を徹底的に洗浄するように設計されていますが、検査モジュールは加工されたダイの品質を視覚的に検査するために使用されます。ユーザーフレンドリーな操作と信頼性の高いパフォーマンスで効率的な生産を提供します。モジュール設計により、ユーザーは個々の生産プロセスの要求に応じてモジュールを変更または追加することができ、オンボードプロセスパラメータ調整はプロセスを最適化するための柔軟性を提供します。SEMITOOL EQ23は、半導体部品の精密生産のための自動フォトレジストモデルを求めるユーザーに必要なソリューションを提供します。