中古 SEMITOOL ECP LT210 Cu #9095392 を販売中

SEMITOOL ECP LT210 CUは半導体産業の大規模な生産のために設計されたフォトレジスト装置です。様々なフォトレジスト材料を加工するための統合環境です。堅牢で自動化されたリソグラフィープロセスのプラットフォームを提供し、正確な膜厚とプロファイル制御を可能にします。システムは、単一のハードウェアユニット、負荷ロックされたロードポートとプロセスチャンバー、および関連する制御ソフトウェアで構成されています。プロセスチャンバーには、高速プレベークおよびポストエクスポージャーのベークサイクル用のカスタム設計の加熱/冷却モジュールが含まれています。このユニットには、フォトレジスト素材の露出を正確に制御する中央に配置されたスプレーガンも含まれています。スプレーガンはフォトレジストをエアロゾル化し、フォトレジストを均一で一貫した沈殿物でウェーハの表面に分配します。さらに、ECP LT210 CUは、高速かつ効率的な基板ローディングとアンロードのためのプログラム可能なスピンモーターとチャック、ならびに簡単なオペレータ制御と診断のためのタッチスクリーンコントロールパネルを備えています。機械にまた速い調理法の変更および予測の維持のスケジュールを可能にする自動化された手動入力があります。全体として、SEMITOOL ECP LT210 CUは信頼性が高く効率的なフォトレジストツールであり、半導体業界の大規模な生産作業に最適です。その統合された環境は、一貫した膜厚とプロファイル制御、および正確な露出制御と迅速なレシピ変更を保証する高度に自動化されたプラットフォームを提供します。アセットはまた、高速かつ効率的な基板のローディングとアンロードを可能にし、操作とメンテナンスの容易さを提供します。