中古 SEMITOOL CY-20 #9141284 を販売中

SEMITOOL CY-20フォトレジスト装置は、半導体、オプトエレクトロニクス、医療機器製造プロセスで使用するために設計された汎用性の高い自動ツールです。CY-20システムはオープンフレームプラットフォームを使用しており、フォトリソグラフィ、蒸発コーティング、ストリップオフ、フォトレジスト開発など、多くのウェットベンチ用途に最適です。また、半導体加工に伴うコストと人件費の削減に役立つさまざまなオプションも用意されています。このユニットは、フォトレジストマシンコントローラ、フォトレジストプロセッサ、蒸着トラック、およびさまざまな処理チャンバーの4つの主要コンポーネントで構成されています。フォトレジストツールコントローラは、アセットの「脳」であり、フォトレジスト処理プロセス全体を管理する責任があります。レシピを処理し、生産状況を監視し、スケジュールを管理し、正確な結果を保証するために診断テストを行います。フォトレジストプロセッサは、デバイスまたはモジュールノズルを介して真空ボトルからフォトレジストケミカルを転送する責任があり、独立したエンクロージャによって制御されます。蒸着トラックは、基板を所望の加工位置に輸送するワイドフラットコンベアモデルであり、チャンバー内にあるメンテナンス部品も収容しています。最後に、様々な処理チャンバーは、プレベーキング、スプレー/ディスペンス、エッチング、ポストベーキングなどの実際のフォトレジスト処理を行う責任があります。各チャンバーには、各プロセスの仕様に合わせて簡単に調整できるノズルとジェットが必要です。SEMITOOL CY-20装置は、最高レベルの精度で様々なレジスト構造を製造することができます。誘電体沈着、反応室利用、基板沈着など、同じクリーンルーム内の他の工具や工程と容易に統合できます。さらに、システムは、優れた完成品を確保するために、基板またはバルブ部品の残留レジストを簡単かつ効率的に除去することができます。全体として、フォトレジストユニットCY-20使用すると、信頼性の高い反復可能な結果を生成し、労働強度を低減することができます。このマシンは、さまざまなウェットベンチアプリケーションに適した多くのオプションを備えた高度に自動化されたプラットフォームで構成されています。他のツールとの容易な統合と統合されたプロセス制御により、サイクルタイムが短縮され、歩留まりが向上します。多くの機能と機能を備えたSEMITOOL CY-20ツールは、あらゆる半導体およびオプトエレクトロニクスメーカーに最適です。