中古 SEMITOOL Cintillio #293821823 を販売中
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ID: 293821823
ヴィンテージ: 2011
Spray Solvent Tool (SST)
Single Chamber
50-wafer clamshell rotor long
(4) Heated tanks
(4) LEVITRONIX Pumps
P/N: SST 441-102841
2011 vintage.
SEMITOOL Cintillioは、フォトレジスト用途向けに設計されたプロセス機器です。フォトレジストアプリケーションに包括的で信頼性の高い高品質なソリューションを提供します。Cintillioは均一なプロセスを提供し、あらゆる平面上のフォトレジストフィルムのコーティングを提供します。それはさまざまな表面サイズおよび厚さのフォトレジストを塗ることができフォトレジストの彫版、深い紫外線、および他の適用のための理想的な解決です。コーティングプロセスは高度に自動化されており、基板全体にわたるフォトレジストフィルムの一貫した均一で制御可能な層をもたらします。このシステムは、正確で低応力で正確に制御されたロボットを使用して、フォトレジストを使用して望ましい結果を生み出します。また、簡単かつ直感的な操作を提供するためのグラフィカルインターフェイスが付属しています。SEMITOOL Cintillioは、自動ウェハの向き検出、高精度ポジショニング、シングルボタンレシピ設定、自動圧力制御、特許取得済みのピンアライニングユニットを提供します。動的な圧力制御を備えているため、さまざまなウエハタイプに自動調整して最適なカバー結果を得ることができます。Cintillioは信頼性の高い運用を提供し、問題が発生した場合に継続的なサポートとメンテナンスを提供するために専門家チームによってサポートされています。また、グラフィカルディスプレイに診断機能を搭載しており、技術的な障害を迅速かつ正確に診断し、迅速かつ便利にトラブルシューティングすることができます。SEMITOOL Cintillioはまた、フォトレジスト方程式とパラメータをカスタマイズ、適応、および改善する能力を備えた業界をリードする科学およびエンジニアリング機能を提供しています。既存の生産システムに簡単に組み込むことができ、フォトレジストアプリケーションにとって費用対効果の高いソリューションとなります。要するに、Cintillioはフォトレジストアプリケーション用に設計された高度なプロセスマシンです。あらゆるサイズまたは厚さの信頼性の高いプロセス制御と一貫したフォトレジストフィルムカバレッジを提供します。高精度の位置決めと動的圧力制御により、フォトレジスト彫刻、ディープUV、およびその他のフォトレジスト用途に最適なソリューションです。これは、高品質のアプリケーションを提供することが証明されており、既存の生産システムに簡単に統合することができます。
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