中古 SEMITOOL Cintillio #293653477 を販売中

SEMITOOL Cintillioは、半導体ツーリング、パッケージング、アセンブリプロセスで使用するために設計された先進的なフォトレジスト機器です。Cintillioはモジュラー式の自動化システムで、変調されたトップダウンスピンコーター、ボトムアップスプレーヤー、レーザー駆動基板ハンドラ/フォーカシングユニットを備えています。非常に効果的なフォトレジストコーティング技術により、S-I-O相互接続、デバイス、および高精度の受動構造を実現します。SEMITOOL Cintillioスピンコーターは、回転またはロッキングによる迅速なプロセス最適化を可能にする特許取得済みのバスケットプラットフォームから始まります。フォトレジストを基板表面全体に均等に配分する特別に設計されたアプリケーションチャンバーを備えています。これに続いてトップダウンのスピンコーティングが施され、高いフィルムの完全性、プロセスの再現性、全面カバレッジを備えた均一なレジスト層が形成されます。Cintillioはまた、基板の逆側にフォトレジストを適用するためのボトムアップスプレーヤーを内蔵しています。これにより、基板裏面のレジスト厚さと均一性を制御し、適用プロセス中に再現することができます。レーザー駆動基板ハンドラ/フォーカシングマシンは、フォトレジストコーティングプロセス後に精密な光フォーカシングを提供するように設計されています。このツールは、再現可能な精度で登録マークに基板を集中させるため、オーバーレイ精度を再現することができます。このモジュールにはマルチレーザーアセットが内蔵されており、複数のデバイスを1回の実行で処理できます。このモデルは、フォトレジスト処理をウェハサイズと構成の範囲で行うことができ、追跡可能な基板追跡、プロセス制御、およびプロセスのレビューを提供します。SEMITOOL Cintillio装置は柔軟で効率的で、迅速で簡単なプロセス最適化を可能にします。このシステムを使用することで、ユーザーは実験室でも生産でも、正確かつ再現的に半導体デバイスを生産することができます。