中古 SEMITOOL CDU-C2-01 #9093501 を販売中

SEMITOOL CDU-C2-01は、半導体製造設備に効率的で信頼性の高いフォトレジスト加工を施すために設計されたフォトレジスト装置です。最先端の機械工学と制御工学を組み合わせ、優れたフォトレジスト加工を実現しています。このシステムは、高性能、大容量、真空isedロードロックチャンバーと高度なスキャンロボットユニットを統合しており、ウェハローディング/アンロードからプロセスモジュール内の移動までの完全な移動性を提供します。このオートメーションとチャンバークリーニング機能を組み合わせることで、1時間あたり最大20個のウェーハの純処理スループットを実現します。このマシンには、21インチのウエハハンドリング機能、高速で信頼性の高い処理のためのスピンドライプロセスなどの機能が含まれています。さらに、フォトレジスト加工において初めて実現した、リバーススピン・オートセンターサイクルによるウェハーの最適化が特徴です。さらに、高度な自己診断ツールが統合されており、オペレーションを最高のパフォーマンスで維持できます。さらに、CDU-C2-01の自己完結型の性質は、小さな資産フットプリントを可能にします。これにより、他の生産システムと比較して、モデルが占有するスペースが削減されます。安全性と信頼性の観点から、複数のロボットが並行して動作する安全で安全な環境を提供します。これにより、リスクを低減し、システムの安定性を確保します。これらの機能はすべて、SEMITOOL CDU-C2-01比類のないパフォーマンスをもたらします。それは信頼でき、費用効果が大きいフォトレジストの処理にとって理想的、容易に既存の生産ラインに統合することができます。