中古 SEMITOOL CD-E1/750 #159333 を販売中

SEMITOOL CD-E1/750
製造業者
SEMITOOL
モデル
CD-E1/750
ID: 159333
Chiller box.
SEMITOOL CD-E1/750は、フォトマスクの製造におけるアッシング、スピニング、乾燥サイクルを最適化するために設計されたパフォーマントフォトレジスト装置です。これは、高度な半導体プロセスの厳格な仕様と要件に従っています。このシステムは、大気圧チャンバ(APC)アッシング、化学機械平坦化(CMP)研磨、スピンコート堆積などの自動プロセスのいくつかの段階を備えています。フォトレジストユニットには、事前にプログラムされたカセットサイクルや効率的なレシピ開発など、高度な制御技術が組み込まれています。チャンバー内の大気は常に窒素で浄化され、酸素や水による汚染を避けます。機械は高度の静電気放電(ESD)の保護機能が装備されており、完全な静電気安全を保障するためにクラス1000およびクラス10,000のクリーンルーム環境で利用することができます。SEMITOOL CD-E1/750フォトレジストツールは、優れた性能、優れた均質性、高品質の結果を与えるように設計されています。基板全体にわたって高い蒸着精度(ナノメートルのレベルまで精度)を提供することができます。さらに、高いスループット率と迅速なアッシング性能を誇ります。この資産は、化学消費量、廃棄物、プロセス時間を大幅に削減することも証明されています。さらに、このモデルはユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供しており、すべてのプロセスステップの正確な監視、制御、レポートを可能にします。データロギングと分析機能により、各バッチの結果に細心の注意を払い、調整可能なクランプとスピンストップにより、各プロセスの容易な適応とカスタマイズが可能になります。全体として、SEMITOOL CD-E1/750 Photoresist Equipmentは、あらゆる半導体製造プロセスにおいて信頼性が高く、高効率でユーザーフレンドリーな選択肢です。また、すべての厳しい基準を満たすように構築されており、フォトマスクの製造における最適なアッシング、回転、乾燥性能を可能にします。
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