中古 SEMITOOL / CALOGIC ST-870 #9265369 を販売中

SEMITOOL/CALOGIC ST-870は、シリコンウェーハの高度な処理のために設計された最先端のフォトレジスト機器です。高性能UVステッパーを使用してウェーハにパターンを露出させ、特殊な液体やプロセスを使用して表面に転送することができます。CALOGIC ST-870は、非常に正確な画像を生成することができ、複雑で複雑なデバイスや回路の開発に不可欠な役割を果たすことができます。SEMITOOL ST-870のシステム設計は、最大300台のウェーハを同時に高速かつ低速でスキャンできる5軸スキャンテーブルに基づいています。また、一連の高度なビームアライメントモニターも備えており、ステッパーが各露出の前に正しく配置されるようにします。これは、最も複雑な画像でも最高レベルの精度を確保するのに役立ちます。ST-870は高度なスキャンアルゴリズムを使用してパターン印刷の忠実性を向上させ、より高いレベルの機能詳細とカバレッジの均一性を可能にします。この技術はまた、ウェーハ全体を露出するのに必要な時間を最小限に抑え、生産性を向上させるのに役立ちます。SEMITOOL/CALOGIC ST-870は、最高レベルの清潔さを実現するために、粒子の汚染を制限するように設計されたさまざまな機能を備えています。それは効果的に湿度レベルを制御する証明された能力を持っています、同時に優秀な溶媒の封じ込めおよびオンサイトの化学リサイクルの特徴を提供します。その自動クリーニングプロセスはまた非常に可能であり、さらにユニットのピーク性能を維持するのに役立ちます。CALOGIC ST-870は、イメージング機能を超えて、計測機能と品質保証機能を備えています。これらには、自動欠陥検査とレビュー、ならびに迅速かつ正確に試験構造を生成し、歩留まり評価とトラブルシューティングを迅速に行う機能が含まれます。要するに、SEMITOOL ST-870は、高精度デバイス製造用に設計された高度なフォトレジストマシンです。これは、一連の高度な光学およびスキャンアルゴリズムとさまざまなクリーンルームおよび計測機能を組み合わせて、イメージングプロセスをこれまで以上に高速、クリーン、かつ正確にします。