中古 SEMITOOL / CALOGIC ST-870 #9265366 を販売中

SEMITOOL/CALOGIC ST-870は、半導体産業におけるシリコンウェーハの加工用に設計された最高品質のコンピュータ制御フォトレジスト機器です。精度、再現性、スループットの点で優れた性能を提供します。このシステムは、最大600um（マイクロメートル）のラインサイズで大規模集積回路（LSI）とメモリチップを処理するように設計されています。CALOGIC ST-870は、数百mmのX-Y変換や複数の軸を回転させるなど、ウェーハ処理のための完全自動化プラットフォームを備えています。また、ウェーハ上のフォトレジストの滑らかな操作と負荷を可能にする特殊なロボットアームとグリッパーが含まれています。負荷とプロセスサイクルは完全に自動化され、顧客の特定のニーズを満たすために完全にカスタマイズ可能です。さらに、ユニットは、静止したソースまたは移動ソースのいずれかで設定することができます。この機械には、正確で再現可能な流量を保証する高度なフォトレジスト分配ユニットが含まれています。高精度のリニアステッピングモータを搭載した高度なコントローラにより、生産中のウェーハの均一な分散フィルムコーティングを保証します。コントローラはまた、軟化化学物質の適用と後処理のための洗浄サイクルを可能にします。SEMITOOL ST-870には、フォトレジストをウェーハの両側に同時に適用できる高度で精密に製造されたデュアルノズルツールが装備されています。また、水分や湿度の濃度にも前処理薬品を適用することができます。さらに、ローラーヘッドとそれに伴う回路の温度を制御する高度なパルス変調機構を備えており、フォトレジストコーティングの適切なパターニングを保証します。この装置はまた、オペレータがプロセス全体をプログラムして制御することを可能にするコンピュータ化されたPRIシステムを備えています。このユニットは完全にプログラム可能で、可変速度、全体的なウェーハ抵抗、可変ノズルサイズなど、いくつかのオプションと機能を呼び出すために使用できます。また、各種ガラス基板やセラミック基板のパターニングにも対応可能です。ST-870は、インライン加工、ウェーハ加工、生産試験および測定、小型チップの大規模処理などの高性能アプリケーション向けに設計されています。これは、再現可能な精度と長期的なパフォーマンスを保証する完全に自動化されたツールです。