中古 SEMITOOL Alpha Raider #9160953 を販売中
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ID: 9160953
Wet processing system, 8"
Model: CP04MNSPD0801
Porous silicon
Process chambers:
Spray
Vapor
Immersion
Electroplating applications
Integrated into single cluster tool
Manuals and schematics
2009 vintage.
SEMITOOL Alpha Raiderは、半導体業界の厳しい要件を満たすように設計されたフォトレジスト加工装置です。それは新しい基質、クリーニングの化学薬品および抵抗との改善された両立性のために設計されている高度システムです。このユニットは独自のドーピング技術に基づいており、さまざまなフォトレジストを使用することができます。Alpha Raiderは、フィルムの厚さ、均一性、表面品質、および特定のアプリケーションにチューニングできるレジスト分布などのさまざまなパラメータを含む、野心的なマルチステップデザインを使用しています。ハイテクなアスペクトスキャナと組み合わされたレジストアプリケーション用のスピンコートマシンを搭載し、ウェーハ表面全体に均一な均一なコーティングを実現します。熱く、不活性ガスの速い配達と基質の暖房はすぐに達成されます。温度は、アプリケーション要件に合わせて調整することができます。SEMITOOL Alpha Raiderには、レジスト加工用のユニークなデュアルスプレーノズルも装備されており、ウェハ表面に均一な露出を迅速に発生させることができます。アルファレイダーはまた、任意の残留抵抗の除去を保証する高度なリンスサイクルを備えています。このツールはまた、高速電子ビームと紫外線レーザーのユニークな組み合わせを備えています。これにより、個々の基板の急速なダイオードパターンが可能になります。最後に、SEMITOOL Alpha Raiderは、精密なパターン定義に使用される洗練されたO2-plasmaアッシング資産を備えており、デバイス間の再現性と優れた歩留まりを実現します。結論として、Alpha Raiderは高度なフォトレジストモデルであり、さまざまなパラメータを大幅に制御し、正確なパターン作成とデバイスの再現性を可能にします。高度なノズル設計、精密な温度制御、高速処理により、均一性と歩留まりを向上させ、半導体製造に最適です。
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