中古 SEMITOOL ACMS-RTA #9267100 を販売中

SEMITOOL ACMS-RTAは、高度な半導体デバイスの生産におけるパフォーマンスを向上させるために設計されたフォトレジスト機器です。コンフィギュレーションリワークステーション（CRS）と抵抗熱解析（RTA）ユニットを備えています。CRSにより、パターンサイズ、作成などのパラメータを正確かつ迅速に調整できます。このユニットはまた、微細なパターンを作成するための優れた手段を提供します。ACMS-RTAのRTAユニットは、窓なし短波赤外線（SWIR）エミッタを使用して、ベーキング、開発、軟化、硬化などのフォトレジストプロセスを加熱します。これにより、製造工程における重要なステップを軽減する薄く均一なレジスト層を適用することができます。また、フォトレジストプロセスによく使用される拡散炉の必要性を排除します。SEMITOOL ACMS-RTAは、温度、加熱速度、およびフォトレジストの濃度を優れた制御を提供します。これは、特定のアプリケーションの正確な仕様を満たしていることを保証します。さらに、ACMS-RTAには、特定のアプリケーションに合わせてカスタマイズできる自動操作プロファイルを備えた直感的なユーザーインターフェイスがあります。また、プロセス制御定格（PCR）も提供し、繰り返し可能で予測可能な結果を保証します。SEMITOOL ACMS-RTAには、歩留まり解析ソフトウェアを備えたリアルタイムアラームやインターフェイスなどの高度な機能も含まれています。これにより、ユーザーがプロセスのパフォーマンスの変化を検出して警告することができ、異常に対する迅速な対応が可能になります。このツールはまた、プロセスの追跡と最適化に役立つ詳細なログと結果のレポートを提供します。ACMS-RTAは、高度な半導体デバイスの製造に最適な信頼性と効率の高いフォトレジスト資産です。温度やフォトレジスト濃度などのパラメータや自動運転プロファイルを優れた制御により、迅速かつ正確な結果を得ることができます。さらに、アラームやロギング機能などの高度な機能を提供し、歩留まり分析を改善します。これにより、SEMITOOL ACMS-RTAは、高品質のフォトレジスト層を作成するのに最適な選択肢です。