中古 SEMITOOL 9708 #293601757 を販売中

SEMITOOL 9708フォトレジスト装置は、半導体デバイスの生産において優れた性能を提供するために設計された信頼性の高い先進的なシステムです。フォトリソグラフィープロセスの最新の技術を採用し、パターンをウェーハに転送することができます。9708は、統合されたコンポーネントを使用してレジストアプリケーションプロセスを簡素化し、各サイクルの時間を短縮し、優れた再現性を確保します。ユニットは、プリクリーンモジュールとレジストアプリケーションモジュールの2つの異なるコンポーネントで構成されたモジュラーユニットです。プリクリーンモジュールを使用して、ウェーハの表面をコンディショニングします。このモジュールは空気と窒素で動作し、ウェーハの表面をきれいにします。レジストモジュールは、加圧チャンバーからフォトレジストを正確に適用します。このユニットには、ウェーハに正確で均一なレジスト層を適用できるスピントラックドライブマシンも含まれています。このユニットの高度な光学設計は、デバイスのパターニングのために最高の解像度が達成されることを保証します。複数のレンズと先進的な光学系を使用して、デザインのイメージを捉え、あらゆる不規則性に合わせて調整します。また、ユニークなダイレクトイルミネーション機能を備えており、均一で正確な露出を提供します。自動ディスペンス制御機能により、正確なレジスト測定が保証され、廃棄物やミスを防止します。このユニットには、レジストアプリケーションプロセス中に最適なウェーハ温度が維持されるようにする高度な基板温度コントローラも含まれています。さらに、このユニットは、複合プロセスの一部として、複数のフォトレジストを回転させて複雑なデバイスパターニングを実現することもできます。SEMITOOL 9708フォトレジストツールは、高品質の半導体デバイスを製造するための効果的で信頼性の高いツールです。その高度な機能により、ユーザーはデバイスの正確な設計を迅速かつ正確にウェーハに転送することができます。高解像度画像と精密なデバイスパターニングを一貫して実現します。