中古 SEMITOOL 921R-A1A #9384495 を販売中

製造業者
SEMITOOL
モデル
921R-A1A
ID: 9384495
ウェーハサイズ: 6"
Spin Rinse Dryers (SRD), 6" Double deck.
SEMITOOL 921R-A1Aは、最も要求の厳しい生産ラインのニーズを満たすように設計された精密フォトレジスト装置です。このシステムは、半導体ウェーハ、MEMS/NEMSデバイス構造、LEDチップなど、さまざまな部品や基板を処理するように設計されています。このユニットは、サイズ、形状、材料特性に関係なく、幅広い基板上で均一な結果を生成することができます。機械は適用範囲が広いプロセスチャンバーの設計および抵抗のコーティングの調理法を最大限に活用するためにプログラム可能な変数の範囲を特色にします。このツールには、デバイス回路のレイヤー間の最適なオーバーラップと精度を確保するためのマスクアライナーも含まれています。921R-A1Aは、さまざまなレジストアプリケーションに対応するために、自動調整可能な帯域幅の光学スキャナも装備されています。SEMITOOL 921R-A1Aの高度な画像処理機能は、画像の分析と改善されたプロセス制御を可能にします。特別なアルゴリズムは、最高品質の製品が製造されることを保証するために、各レジストコートレシピのパフォーマンスを監視および予測するために使用されます。このアセットは、4マイクロメートルまでの解像度でパターン化されたレジストコーティングを製造することができます(より細かいミクロンレベルの解像度のために、追加の機器をモデルに接続することができます)。さらに、化学廃棄物を最小限に抑え、環境負荷を低減するために設計されたさまざまな機能を備えています。最後に、このシステムは複数のレシピを保存することができ、ユーザーはレシピをすばやくリコールし、タイトな生産スケジュールに留まることができます。全体として、921R-A1Aは最も要求の厳しい生産作業の要件を満たすように設計された精密フォトレジストユニットです。その高度な機能と柔軟なプロセスチャンバー設計は、多くの産業用途に最適なソリューションです。
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