中古 SEMITOOL 906-00329 #9160090 を販売中
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ID: 9160090
Controller PSC-102 for SEMITOOL SRD.
Controllers are programmable
Displays resistivity and spin speed.
「SEMITOOL 906-00329」は集積回路製造に使用されるフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムの一種で、基板の全体的な電気的および機械的特性に影響を与えることなく、精密パターンを形成することができます。フォトレジストシステムは、シリコンウェーハ上に電気部品を作成するために使用されます。906-00329を使用すると、ユーザーは高品質で高解像度のシリコンウェーハ上に目的の構造を作成できます。15 µmまでの高解像度に対応できます。また、-10°C〜45°Cの広い動作範囲を有しており、さらに直径200mmから300mmまでの基板に対応できるため、大型基板に適しています。SEMITOOL 906-00329は取付け、維持し易いです、ユーザーおよび企業のために適した作ります。基板の積み降ろしを支援する内蔵のウェーハローディングマイクロメータガイドを備えています。それはまた前部および後部動きのフルレンジの調節可能なチャックを特色にします。さらに、自動プロセスガススイッチング機能を搭載し、柔軟性を高めています。906-00329は、紫外線(UV)光と電子ビームリソグラフィ(EBL)の組み合わせをフォトレジストマシンに利用しています。パフォーマンスを最適化するためにマルチパス露出と開発プロセスを採用しており、詳細な解像度を達成できます。さらに、内蔵のウェーハ温度コントローラも備えており、ウェーハ表面の均一で制御された温度を維持するのに役立ちます。全体として、SEMITOOL 906-00329は、基板上に精密パターンを形成するための非常に効果的で信頼性の高いフォトレジスト資産です。運用範囲が広く、15 µmまでの高解像度に対応できます。また、自動プロセスガススイッチング、さらには熱分配のための温度コントローラ、ウェハローディングマイクロメータガイドなどの高度な機能を備えており、すべてがスムーズな動作と信頼性の高い結果を保証します。
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