中古 SEMITOOL 906-00119 #9160086 を販売中

SEMITOOL 906-00119は、フォトマスクやその他のリソグラフィ材料の処理用に設計されたフォトレジストシステムです。フォトマスクやワークを高品質にお届けするために、様々な光学トランスファー、化学加工、および関連するプリプロセスおよび後処理機能を使用した完全自動化された装置です。コアでは、906-00119はフォトマスクまたはウェーハの製造に自動化されたリニアスキャナを使用しています。スキャナは、フォトマスクまたはワークを線形ステージに沿って移動させ、高輝度の紫外線光源にさらすことができます。このプロセスは、フォトマスクまたはウェーハ上のフォトレジスト層を露出するために使用されます。露出したフォトレジストは、ウェットケミストリープロセスで開発され、希望するフォトマスクまたはウェハパターンを形成します。リニアステージに加えて、SEMITOOL 906-00119フォトレジストシステムには、露出前にウェーハを準備する必要がある状況での開発およびリフロー用のプリプロセッシングチャンバーも含まれています。プリプロセッシングチャンバーには、ウェーハ表面にフォトレジストを効果的にエッチングするために、精密な圧力レベルと0。2ミクロンのパルス用にプログラムされた高圧エアジェットパルスも使用されます。露出、開発、エッチング処理が完了した後、906-00119単位で後処理を行います。これには、フォトマスクやウェーハの洗浄、ベーキング、硬化、ほこりの除去、保護コーティングが含まれます。これらの後処理ステップにより、露出されたフォトレジスト層が残余の量を最小限に抑えることができます。結論として、SEMITOOL 906-00119は、高品質のフォトマスクとワークを幅広い用途で作成できる、高度でユニークなフォトレジスト加工機です。自動化されたリニアスキャナ、前処理室、後処理機能は、フォトマスクやその他のリソグラフィ材料の処理に効率的で信頼性の高いソリューションを提供します。