中古 SEMITOOL 880S #9774 を販売中

SEMITOOL 880S Photoresist Equipmentは、業界最高レベルの精度と精度を提供し、パターン化された条件と平面条件の両方でフォトレジストをコーティング、露出、除去するために設計されています。これは、最大8つのカセット負荷をサポートすることができる完全に自動化されたデュアルコラムシステムです。SEMITOOL 880 Sは、化学貯蔵タンクとウェーハリサーフェシングシステムの両方を提供し、プロセスの再現性とユニットの信頼性を高めます。880-Sフォトレジストマシンは、高温高圧サーマルコーティングステーション、レジストレセプタクル、環境制御ワークステーションで構成されています。サーマルコーティングステーションは、独自のガス混合技術を使用して、単層または多層材料の広い領域にフォトレジストを均一に適用します。レジストレセプタクルは、フォトレジストの正確な配置と保持を可能にし、ウェーハへのフォトレジストの正確な投与量のための高精度の自動測定を提供します。環境チャンバーは、プロセスに均一性と安定性を追加し、完全な環境制御のための強力な空調ツールが装備されています。880 Sには、フォトレジストの迅速かつ正確な露出を可能にする最先端のイメージングソフトウェアも含まれています。このソフトウェアにより、マスクをターゲットにアライメントし、露出条件やパラメータの選択を含む露出プロセスの最適化された制御が可能になります。このアセットには、フォトレジストの正確で一貫した処理を提供する堅牢で信頼性の高いポストベーク、ストリップ、および開発者モジュールも備えています。これらの880S機能を組み合わせることで、優れた精度と再現性を実現し、廃棄物やサイクルタイムも削減できます。このモデルは、R&Dおよび大量生産設備のフォトリソグラフィ用途に最適です。それは高い化学抵抗率の広い温度較差上の大きいスケールの抵抗に対処でき、優秀なプロセス結果を保障します。