中古 SEMITOOL 880S #9170474 を販売中

SEMITOOL 880Sは、ウェットプロセスアプリケーション用に設計された完全自動フォトレジスト装置です。このシステムは、コーティング、ベーク、開発など、多くのフォトレジスト操作用に設計されています。ウェットプロセスモジュールとスピンドライ（SRD）モジュールの2つの独立したプロセスモジュールで構成されています。ウェットプロセスモジュールには、自動化されたケミカルデリバリーユニット、加熱再循環機、手動スピナー、スピンリンスおよびポストリンスのソリューションが装備されています。SRDモジュールは、スピン、リンス、乾燥、および部品の溶剤処理のためのオプションを可能にします。ウェットプロセスモジュールは、正確な化学供給と完全なプロセスの安全性を提供します。その自動化化ケミカルデリバリーツールは、プロセス制御を強化するために、最大4つの化学物質の正確な計量を容易にします。加熱された再循環アセットは、化学物質のより速いターンアラウンドを可能にします。手で回転できるマニュアルスピナーは、便利な部品配置を提供します。スピンリンスおよびポストリンスソリューションは、適切な洗浄とポストプロセス保護を保証します。SRDモジュールには、振動スピナー、正確な洗浄のための調整可能なスプレーノズル、乾燥のための大容量ドレイントレイが装備されています。スピン乾燥機能により、徹底的な洗浄が保証され、プロセス時間が短縮されます。モジュールはまた、水分に敏感な部品の処理のための溶媒処理オプションを備えています。SEMITOOL 880 Sは、フォトレジストプロセスの効率的で信頼性の高いモデルです。ユーザーフレンドリーで、簡単な起動とシャットダウン手順を備えています。ユーザーフレンドリーなHMIインターフェイスは、プロセスレシピ管理、アラームロギングおよびトラブルシューティング機能のサポートを提供します。安全機能には、密閉フォトレジストコンテナ、機器アラームおよびシャットダウン、防爆構造などがあります。このシステムは、効率的なフォトレジストユニットをお探しの方に最適です。