中古 SEMITOOL 880S #9163494 を販売中

SEMITOOL 880Sは、堅牢で信頼性の高いフォトリソグラフィ処理をさまざまなアプリケーションに提供するように設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、基板および/またはデバイス上の薄膜蒸着のための片面と両面の両方のプロセスを実行することができます。ユニットは、プレベイクと露出という2つの異なるセクションで構成されています。機械のプレベーク部分は、フォトレジストの適用前にウェーハをプレベークするための温度設定の範囲を提供するSEMITOOL 880 Sホットプレートユニットで構成されています。さらに、このツールは複数のファン設定で設計されており、ユーザーはプリベイクチャンバーの対流力を均一なウェーハ温度プロファイルに調整することができます。プレベイクプロセスは、ウェーハのエッジ効果を低減するのに役立つ真空ベースの冷却ファンによってさらにサポートされています。露出セクションは、880-S DUV（深紫外線）ランプを備えた150W露出ユニットで構成されています。このアセットは、ウェーハ上のフォトレジスト層を露出するために使用されます。このプロセスは、片面モードと両面モードの両方で構成できます。片面露光の場合、直径8インチ、厚さ20mmまでの基板加工が可能です。両面加工では、直径4インチ、厚さ10 mmまでのウェーハ加工が可能です。システム全体のパフォーマンスは、ユニットの設計に統合されたさまざまな安全システムによってさらに向上しています。誘電体と金属マスクの自動シャットダウン機能、フェイルセーフインターロックユニットなどがあります。これにより、880 Sフォトレジストマシンが安全なパラメータ内で動作し、機器の損傷やユーザーへの潜在的な害を回避できます。結論として、880Sは、単一および両面プロセスの両方に正確で高品質な結果を提供するように設計された高度なフォトリソグラフィーツールです。豊富な機能と安全システムを備えたこの資産は、あらゆるフォトリソグラフィ用途において信頼性が高く効率的な選択肢です。