中古 SEMITOOL 880S #38555 を販売中

SEMITOOL 880Sは、半導体ウェーハ加工およびマスクレスリソグラフィ用に設計されたフォトレジストおよび薄膜蒸着システムです。高効率レジストディスペンサーとマスクアライナー、高性能薄膜蒸発源、水晶マイクロバランス（QCM）、統合ガス管理を組み合わせ、使いやすくコンパクトなプラットフォームにしました。SEMITOOL 880 Sは、880シリーズのラインモデルのトップであり、半導体および光電子産業での使用に最適です。880-Sは、フラット面と複雑面の両方に精度と再現性を備えたフォトレジストを分配、整列、適用することができます。高効率で堅牢なディスペンス技術により、高速かつ高精度でも信頼性の高いディスペンスパターンを実現します。880Sは、基板の部位に容易に到達しにくい処理が可能です。2段式マスクアライナーにより、レジストパターンと基板表面の正確なアライメントが保証されます。薄膜蒸着は、圧力、温度、蒸着速度、ガス純度などのグローバルプログラマブルパラメータによって制御される高度な蒸発源によって可能になります。このソースは低熱質量であり、均一性、均一な厚さ、および改善されたフィルム特性を提供する薄膜の効率的な配送を可能にします。さらに、統合された水晶水晶マイクロバランス（QCM）により、蒸着速度をリアルタイムで制御できます。SEMITOOL 880-Sは、事前設定されたガスと酸素混合物を素早く循環させる高度なガス管理システムを組み込み、製造プロセスを最適化します。このデバイスは静かに動作し、汚染を低減し、プロセスの安定性を高めます。880Sはまた非常に構成可能で、統合された処理のための既存の処理用具に取付けることができます。全体として、SEMITOOL 880Sは非常に効率的で信頼性が高く、費用対効果の高いフォトレジストおよび薄膜蒸着システムです。半導体、光電子、研究分野での使用に最適です。