中古 SEMITOOL 880S #293683353 を販売中

SEMITOOL 880Sは電子およびガス冷却された暖房部品およびソフトウェアの最新と設計されているプログラム可能なフォトレジスト装置です。その利点は、温度、流量、レジスト回転速度などのタイミングパラメータを正確に制御するとともに、作業チャンバー全体で優れた熱均一性を備えています。SEMITOOL 880 Sは、Photoresist Delivery System （PDS）とGHR（ガス冷却加熱炉）の2つの異なるコンポーネントで構成されています。PDSは真空ポンプを使用してレジストをステンレススチールディスクに引き下げ、制御された速度でディスク全体に均一に分布します。これにより、フォトレジスト層の最高品質のカバレッジと均一性が保証されます。その後、GHRは回転抵抗を加熱するために使用され、温度やドウェル時間などの温度パラメータを正確かつ正確に制御できます。880-Sは幅広い加工用途を提供しており、フォトリソグラフィやケミカルエッチングなどの低温・低粘度加工、PECVD、 PVD、 HDプロセスなどの高温・粘度加工に使用できます。このユニットの効率的な熱伝達機能と最大1800°Cの大きな温度範囲により、さまざまな生産グレードの処理要件が可能になります。さらに、インテリジェントなプロセス制御マシン（IPCS）は、生産プロセスの各フェーズを正確かつ信頼性の高い制御を可能にします。IPCSは、スループットを最適化し、特別なレシピのカスタムプロファイル作成を可能にします。さらに、ユーザーは、WindowsベースのGUIを介してパラメータ、レシピ、プロセスデータなどの機能にアクセスしたり、ソフトウェアで言語固有のプロセス手順を作成したりすることができます。その高度な機能と汎用性の高い設計の結果として、880Sは様々な生産作業のための貴重なソリューションであり、正確で信頼性の高いフォトレジスト部品を作成するために使用することができます。