中古 SEMITOOL 880S #293674902 を販売中
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SEMITOOL 880Sは、すべてのタイプのフォトレジストを処理するために特別に設計されたフォトレジスト加工装置です。高度な真空処理能力と精密温度およびガス制御システムを備えています。また、オペレータが複数の処理ステーション間でウェーハを素早く安全に移動することを可能にする統合ウェーハハンドリングシステムも提供しています。SEMITOOL 880 Sは、高度な接着処理を施したフォトレジストから、従来型のフォトレジストまで幅広く対応可能です。これは、より効率的なフォトレジストの開発、エッチング、および除去を可能にする酸素や窒素などの様々なガスを装備しています。温度制御も高度化されており、ユーザーはより一貫した結果を得るためにさまざまなプロセスの温度を正確に制御することができます。ウエハハンドリングユニットは、効率と安全性を最大限に高めるように設計されています。複数のステーション間でウェーハを移動させる「キャリアリフト」という仕組みを採用しており、異なるプロセスを素早く切り替えることができます。また、処理の状態を監視するための制御システムも統合されており、オペレータはプロセスの上にとどまり、あらゆる異常に迅速に反応することができます。880-Sの最もユニークな機能は、堅牢なプロセス制御です。これにより、複数のレシピと実行シーケンスを同時に管理し、リアルタイムでパフォーマンスを監視できます。カスタムプログラミングのおかげで、オペレータは歩留まりと信頼性を高めるために必要なときにプロセスを自動化することもできます。880 Sは、生産ラインやラボでの使用を想定しており、信頼性の高いフォトレジスト処理能力を手頃な価格で必要とする設計者やエンジニアに最適です。高度な温度、湿度、ガス制御システム、および統合されたウェーハハンドリング技術により、880Sは信頼性と手頃な価格のマシンを探している開発者に最適です。
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