中古 SEMITOOL 880F #84730 を販売中

SEMITOOL 880Fは半導体製造用に設計されたフォトレジスト装置です。優れた精度と均一性で、標準的なフォトレジストと高度なフォトレジストの両方を処理できるハイエンドウェットベンチシステムです。このユニットは、最大880平方インチのウェーハ表面に対応できる精密プロセスチャンバーを備えた高解像度イメージングマシンを備えています。この組み合わせは、より正確で再現性のある結果とともに、高いレベルの均一性を達成する能力を提供します。このツールには最先端のデジタル制御アセットも装備されており、プロセスパラメータを正確に監視できます。この制御モデルには、さまざまなセンサーが含まれており、統合されたソフトウェアベースのフィードバック装置が装備されており、後者はさまざまなフォトレジストのアプリケーションプロセスを正確かつ信頼性の高い制御を提供します。880Fには、正確な登録とソリューション間のフォトレジストソリューションの正確な交換を提供する4点アライメントシステムが標準装備されています。このユニットは、ほとんどの標準的なフォトレジストソリューションをサポートし、長期的な使用のために設計されています。さらに、このマシンはまた、温度、圧力、およびコーティングモジュールなどの精密なプロセス最適化を可能にする多くのオプションのアクセサリをサポートしています。SEMITOOL 880Fには、Class 100クリーンルーム対応の封じ込めと排気ツールも備えています。この機能により、空中粒子がフォトレジストプロセスから安全に除去されます。さらに、クリーンルーム対応資産は、空気中の汚染が減少するため、プロセスの歩留まりが増加します。長期的な運用を確保し、オペレータの安全性を最大化するために、880Fには安全機能も含まれています。いくつかの統合された安全インターロックは、モデルに標準として組み込まれています。さらに、フォトレジストを危険な状態にさらされないように保護するさまざまな調整可能なプロセスアラームがオプションとして用意されています。最後に、この機器にはユーザーフレンドリーなプロセッサも含まれており、レシピの設定とデータ収集を簡素化します。このプロセッサは、簡単にレシピのアップロードとダウンロードだけでなく、ホストコンピュータからのリモートアクセスを可能にします。オプションのグラフィカルユーザーインターフェイスも利用でき、予期しない結果の原因を強調します。全体的に、SEMITOOL 880Fは強力なプロセス結果を提供することができる強力なフォトレジストシステムです。これは、最高の解像度と最も正確な結果を提供し、すべてのユニットに統合された安全機能を備えています。さらに、このマシンは、生産性を最大化するために、いくつかのオプションのアクセサリとユーザーフレンドリーなツールの範囲が含まれています。