中古 SEMITOOL 880F #2366 を販売中

SEMITOOL 880F Photoresist Equipmentは、非常に短いターンアラウンド時間でウェーハを効率的に処理するように設計された先進的な半導体製造プラットフォームです。このシステムは、化学蒸着プロセスを利用して、アライメント、ファインラインパターニング、厚膜蒸着、薄膜コーティングなどのフォトレジスト用途に最高品質の性能を提供します。880Fは、オペレータが簡単にプログラムし、その多くの機能を管理することができます使いやすいインターフェイスを持っています。そのプロセス制御ソフトウェアは、自動生産シーケンス用に特別に設計されており、最も要求の厳しいアプリケーションに最適な精度と再現性をユーザーに提供します。ハネウェルプロセスソリューションは、プロセスの精度と制御を向上させるために含まれています。SEMITOOL 880Fには、150mmまたは200mmウェーハを装着した最大6箱まで対応できる大型ロードロックチャンバーが装備されています。プリロード機能により、バッチ実行を想定して複数のボックスをロードすることで、非生産的な時間を短縮できます。ロードロックは、チャンバの雰囲気と温度を正確に制御するエンドポイント仕様機能も備えています。880Fはまた、特別な空気圧支援プレート取り付けバブラユニットを使用することにより、熱精度を向上させます。さらに、SEMITOOL 880Fには、フォトレジスト除去プロセスの正確なタイミングを可能にする精密インターバルタイムコントロールシャッターが付属しています。さらに、複数のプロセスタンクに880Fを設定することができ、異なるフォトレジストを同時に処理できます。この機能は、納期を短縮し、プロセスの柔軟性を提供します。全体として、SEMITOOL 880Fは強力で効率的なフォトレジストマシンであり、半導体メーカーがウェーハを迅速かつコスト効率よく処理するのに役立ちます。自動シーケンス、精度と制御の向上、熱精度の向上などの機能を備えた880Fは、フォトレジストアプリケーションで最高のパフォーマンスをユーザーに提供します。