中古 SEMITOOL 870S #9397638 を販売中

SEMITOOL 870S
製造業者
SEMITOOL
モデル
870S
ID: 9397638
Spin Rinse Dryers (SRD) Double stack.
SEMITOOL 870Sは、電子機器の加工・製造に使用されるフォトレジスト機器です。平らな基板層にパターンを作成するために使用される楽器であるマスクアライナーです。フォトレジスト(photoresists)は、光のビームが通過する場所に反応し、特定の領域のパターン化を可能にする、光に敏感な材料です。SEMITOOL 870 Sは、基板材料、露出源、ステッパーをロードおよびアンロードするための自動テーブルで構成されています。露出源には、固定透明な表面と水晶照明器があり、希望するパターンをフォトエクスポージャーを使用してレジスト層に露出させることができます。ステッパーを使用すると、x方向とy方向の両方で露光源と基板テーブルの動きを正確に配置できます。870Sシステムには、特定のパターン定義を可能にするソフトウェアが装備されています。露出源でパターンを作成するため、正確な位置決めが必要です。これは、X、 Y、 Z方向の露光源の動き、ピッチ、ロール、ヨーを供給する6軸コントロールで、マスクの完全にジョギングされたアライメントのためのユニットの自動機能によって達成することができます。870 Sはまた、基板上のレジスト除去と金属粒子エッチングを可能にする高率金属クリーニング機能を備えています。これは、高出力パルスレーザーを使用して、高レートで行われます。この強力なレーザーは速く、精密な抵抗の露出を提供します、従ってSEMITOOL 870S機械を高度の適用に適したようにします。全体として、SEMITOOL 870 Sは、電子デバイスの正確なパターニングを提供するように設計された効率的なフォトレジストツールです。自動ローディングとアンロード機能、正確な位置決め、ソフトウェア定義パターン、高速金属洗浄、露出用の高出力レーザーの使用など、ユーザーフレンドリーです。したがって、870Sは電子機器の製造および加工に有用なツールです。
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