中古 SEMITOOL 870S #293830204 を販売中

SEMITOOL 870S Photoresist Equipmentは、レジストの自動処理のための高度で費用対効果の高いプラットフォームです。SEMITOOL 870 Sシステムは、モジュラーアーキテクチャを利用して、最大8つの300mmウェーハと複数の化学物質を処理することができ、スピンオンコーティング、乾燥、ソフトベーク、接触、露出、開発能力などのプロセスオプションを提供します。これにより、2つ以上の化学物質またはプロセスの同時コーティングが可能になり、スループットが向上し、レジスト廃棄物が最小限に抑えられます。870S単位は異なった適用および技術のためのプロセスレシピを構成できます。各プロセスステップからのグラフィカルユーザーインターフェイスとデータ取得により、すべてのマシンコンポーネントとアラームを密接に監視し、アラーム管理とトラブルシューティングを容易に行うことができます。870 Sツールは、幅広いアクセサリによってサポートされており、フォトリソグラフィープロセスのための柔軟で多様な処理を可能にします。これには、ロードロック、4ボトル、6ボトル、8ボトルスイート、およびイメージングおよび検査照明システムが含まれます。このモジュール設計により、ユーザーは個々の要件に基づいて機能またはプロセスを拡張または削減できます。このアセットは、処理時間を短縮し、汚染のリスクを最小限に抑えるように設計されています。同時に、コータディスペンスを低減し、ウェーハへのウェーハ負荷を向上させることで、優れたプロセス均一性を提供します。実際のディスペンスとスピンオン速度は、直感的なプロセスプログラムの指示と専用のディスペンスソフトウェアオプションを使用して調整できます。SEMITOOL 870Sはまた、機械設計、精密なスピン速度制御、および液体プロセスパラメータの優れた再現性により、レジストフィルムの優れた平面化を提供します。SEMITOOL 870 Sモデルの高精度ダイアタッチ技術により、基板搬送装置におけるウェーハの正確な積み込みとインデックス化が可能となり、ウェーハ上の部品の正確な位置決めが可能となります。結論として、870S Photoresist Systemは、幅広いフォトリソグラフィ用途に理想的な選択肢です。堅牢で信頼性の高いモジュラーアーキテクチャにより、870 Sは包括的なプロセス機能、柔軟性、および費用対効果の高い処理を提供します。