中古 SEMITOOL 870S #293590456 を販売中

SEMITOOL 870S
製造業者
SEMITOOL
モデル
870S
ID: 293590456
ウェーハサイズ: 6"
Dual stack SRD, 6".
SEMITOOL 870Sは、高度な半導体産業のために設計された、完全に自動化された大量フォトレジスト加工装置です。このシステムは、一貫した反復可能な結果を提供するために、3段階の化学モジュールを備えた百八十度のリニアスピンリンスユニットを備えています。この機械はフォトレジストの除去、除去のクリーンアップ、クリーニング、エッチングおよび抵抗コーティングの塗布に使用するように設計されています。コンピュータ制御のパラメータを使用して、SEMITOOL 870 Sは、ユーザー定義のプログラム、正確で正確なアッシング、クリーニング、および事前クリーニング仕様を提供します。870Sは周期の異なったステップで50°Cから150°Cに調節することができる広い実用温度を提供します。温度範囲は、さまざまなプロセス用途に幅広い多様な化学溶液を使用できるように設計されています。870 Sは、高度なロボットアームを使用して、寸法サイズの部品からより大きな基板アセンブリまでの部品を保持するバートレイをロードおよびアンロードします。このツールはまた、透明、着色、および不透明なコンポーネントを検出して処理できるCCDカメラを備えています。高度なロボティクスは、高速差別化を備えた高速船舶交換を提供するように設計されています。これはフォトレジストのサイクルタイムを改善することができます。SEMITOOL 870Sは、化学コストを削減し、効率を高めるための費用対効果の高い方法です。高度な自動化および制御ソリューションにより、プロセスの運用および監視に必要な時間とエネルギーを削減できます。さらに、SEMITOOL 870 Sは、望ましい結果を保証する3段階の化学物質を備えています。870Sはまた、高精度と信頼性を確保するために組み込みのフェイルセーフアセットを備えています。全体として、870 Sは半導体産業のために設計された高度なフォトレジスト処理モデルです。高度に自動化された装置および制御ソリューションは、アプリケーションプロセスの運用および監視に必要な時間とエネルギーを削減するのに役立ちます。SEMITOOL 870Sは、高速船舶交換のための幅広い動作温度と高度なロボティクスを提供しています。さらに、内蔵のフェイルセーフシステムと3段階の化学物質は、信頼性が高く、一貫性があり、再現性のある結果を提供します。
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