中古 SEMITOOL 870F #9268564 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
SEMITOOL 870Fは、基板表面に感光材料の層をパターン化するために使用されるフォトレジスト機器です。半導体部品やデバイスの製造に特化しています。このシステムは、接触開口部、ゲート電極開口部、ビア、金属線など、さまざまなパターンを作成するために使用できます。870Fには、基板上のパターンを正確かつ正確にレンダリングするためのデジタルイメージングユニットが装備されています。このマシンは、高解像度のデジタルカメラ、高倍率光学、および非常に正確なパターニングのためのズーム機構を内蔵しています。カメラは、0。1ミクロンから0。2ミクロンまでの解像度の範囲に設定することができ、x、 yおよびz軸の動き機能は無制限の精度を提供します。SEMITOOL 870Fは、X、 Y、 Z軸移動機能で露光領域を正確に制御するスキャンステージを採用しています。これにより、パターニングプロセスを正確に制御し、所望のパターンが正確かつ一貫して形成されるようにします。SCS-211C露光ツールは、自動基板クランプ用の真空/圧力ベースのスライドチャックと、高精度のモジュラー差動駆動アセットを内蔵し、高精度な基板ムーブメントのために最大5nmの精度を備えています。870Fはまた、様々なコーティングおよび加工ニーズに高い柔軟性を提供するモジュラー加工チャンバーを備えています。例えば、基板にパターン化された材料を適用するために使用されるin-situスピンコーティング/レジストコーティングチャンバーを備えています。このチャンバーは、レジストスピンアーム、熱電対、真空/圧力ベースの基板チャック、および自動速度制御を備えたプリセットラジアルスピナーヘッドドライブモデルを備えています。SEMITOOL 870Fは、複雑な半導体デバイスの製造とパターニングプロセスに費用対効果の高いソリューションを提供する効率的なフォトレジスト機器です。モジュラーアーキテクチャは、さまざまなプロセス工程に柔軟性を提供し、統合されたデジタルイメージングシステムにより、複雑な構造の高精度パターニングを可能にします。さらに、そのオートメーション機能とin-situチャンバシステムは、デバイスの最大歩留まりと出力を保証する一貫したプロセス制御を提供します。
まだレビューはありません