中古 SEMITOOL 870F #9268556 を販売中
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SEMITOOL 870Fは、半導体ウェーハを化学環境で処理するために設計されたフォトレジスト機器です。超リソグラフィックNanoFlex™技術の高度でさらに改良されたバージョンが装備されています。870Fは、半導体材料をパターン化するための完全に自動化された精密なソリューションです。統合されたプロセス温度制御システムにより、優れたパターン品質とクリーンゾーンの均一性を提供します。直径200mmまでのウェーハ加工が可能で、2umから50umまでの高速かつ正確な基板パターニングが可能です。SEMITOOL 870Fは、統合された高いコスト効率のプリアライナーモジュールを提供します。プレアライナー内のウェーハ位置とステージアライメントをモニターし、素早く正確な基板パターニングを実現します。また、露出チャンバからの基板の迅速な負荷とアンロードを可能にします。フォトレジストマシン870F露光プロセスに2つの光源を使用しています。Cadax VCP 30には3kWと6kWのキセノンランプが装備されており、露光プロセスに柔軟性を持たせることができます。これにより、半導体市場で最も困難なプロセスの露出時間を調整することができます。SEMITOOL 870Fで使用されるNanoFlex™技術は、精密なDUV光パターニングを可能にし、高度な半導体プロセスに必要な微細な線幅の結果を提供することができます。広い波長範囲のUVソースとレーザー照明アセットを備えており、外部の光に不要な露光せずに光パターニングが可能です。870Fはクリーンルームの評価の標準に従ってクラス10のクリーンルームの環境で使用されるように、設計されています。それに革新的な後部開始アクセスパネルがあり、腐食に抵抗力があるエポキシおよびステンレス鋼および他の部品から成っています。これは、保護発煙抽出ダクトが含まれており、EPAおよびOSHA排出基準に準拠しています。SEMITOOL 870Fは、半導体加工に特化した高度で堅牢なフォトレジストモデルです。お客様に信頼性の高い高品質の基板パターニング装置を提供し、迅速かつ効率的な結果を得るための迅速な納期を実現します。
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