中古 SEMITOOL 870F #293725516 を販売中

SEMITOOL 870Fは、半導体製造における薄膜成膜処理用フォトレジスト装置です。独自のオートメーション機能を備えた優れたプロセス制御を提供します。このシステムは多目的で、さまざまなプログラマブルモジュールを備えており、幅広いカスタマイズ可能なプロセスを可能にします。870Fは、SiONエッチング、PR除去、coplanarization、保護オーバーコート沈着など、さまざまなフォトレジストのニーズに最適です。SEMITOOL 870Fは、ツール間、フィルム間、バッチ間のバリエーション除去の広い範囲で、堅牢なプロセス制御機能を提供します。また、プログラマブル性に優れているため、露出時間や濃度に応じて精密な沈殿パターンやカスタマイズ可能なアセンブリが可能です。870Fは、モジュラープラットフォームインターフェイス（MPI）アーキテクチャと予測モデリング技術に基づいて構築されており、モニタリングと診断の改善、より厳格な予測、プロセスの迅速な最適化を提供します。このユニットは、オーバーヘッドシャワーヘッドスタイルの蒸着ヘッド、メカニカルアームベースのアプリケーションマシン、および2つの独立した無線周波数（RF）基板加熱源を備えた、最も汎用性の高い処理チャンバーを備えた高度なマルチチャンバー設計を特徴としています。ガスと液体の両方に対応しており、酸化物、窒化物、金属などの様々な材料を様々な試料サイズや形状に堆積させることができます。SEMITOOL 870Fは、ウエハフィンガープリントリーダーを内蔵しており、ウエハジオメトリ、基板タイプ、および特定のウエハーの材料組成を認識することができます。これにより、より信頼性が高く、効率的で正確なプロセスが可能になります。高解像度のビジョンツールにより、基板の迅速かつ正確な位置決めが可能になり、正確で再現性の高い処理が可能になります。また、迅速なセットアップ時間、効率的な基板処理とマッチング、簡単なメンテナンスを提供します。このアセットは、転送時間を最小限に抑えた既存のプロセスチャンバーに組み込むことができ、再認定を必要とせずにチャンバ全体を移動することができます。870Fは、SMIFとFOUP （Front Opening Unified Pods）の両方のポッドと互換性があるため、さまざまなクリーンルーム環境に簡単に統合できます。SEMITOOL 870Fフォトレジスト装置は、高精度なプロセス制御、統合ビジョンモデル、および迅速なセットアップ時間により、半導体製造環境におけるさまざまなフォトレジストのニーズに最適なソリューションです。